[实用新型]一种电子工业用真空镀膜机有效

专利信息
申请号: 201721408994.6 申请日: 2017-10-30
公开(公告)号: CN207525331U 公开(公告)日: 2018-06-22
发明(设计)人: 刘炫烨 申请(专利权)人: 无锡源代码科技有限公司
主分类号: C23C14/54 分类号: C23C14/54;C23C14/52;C23C14/50
代理公司: 北京卫智畅科专利代理事务所(普通合伙) 11557 代理人: 唐维铁
地址: 214000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及真空镀膜机领域,尤其为一种电子工业用真空镀膜机,包括固定平台,所述固定平台的上端外表面活动安装有一号驱动箱,所述固定平台的上端外表面位于一号驱动箱的外表面一侧活动安装有二号驱动箱,所述二号驱动箱的外表面一侧活动安装有装载架,所述装载架的外表面活动安装有装载平台,所述固定平台的一端外表面固定安装有真空室,所述真空室的外表面一侧固定安装有观察窗,本实用新型所述的一种电子工业用真空镀膜机,设有摄像头、温度监测仪和装载架,能够近距离观察被镀膜物品的情况,可以实时监测真空室内的温度,防止温度过高镀膜失败,能够放置更多的物品,提高效率,带来更好的使用前景。
搜索关键词: 真空镀膜机 固定平台 活动安装 驱动箱 装载架 电子工业 本实用新型 上端外表面 真空室 镀膜 近距离观察 温度监测仪 摄像头 实时监测 温度过高 装载平台 观察窗 室内 失败
【主权项】:
1.一种电子工业用真空镀膜机,包括固定平台(1)、阀门(13)与转盘(15),其特征在于:所述固定平台(1)的上端外表面活动安装有一号驱动箱(2),所述一号驱动箱(2)的外表面一侧活动安装有二号驱动箱(3),所述二号驱动箱(3)的外表面一侧活动安装有装载架(4),所述装载架(4)的外表面活动安装有装载平台(5),所述固定平台(1)的一端外表面固定安装有真空室(6),所述真空室(6)的外表面一侧固定安装有观察窗(7),所述真空室(6)的外表面与观察窗(7)的下方固定安装有工作台(8),所述真空室(6)的外表面一侧固定安装有管道(9),所述管道(9)的一端固定安装有三号驱动箱(10),所述装载架(4)的外表面一侧固定安装有摄像头(11),所述真空室(6)的上端内表面固定安装有温度监测仪(12),所述真空室(6)通过阀门(13)与管道(9)固定连接,所述三号驱动箱(10)的内部固定安装有真空泵(14),所述二号驱动箱(3)通过转盘(15)与装载架(4)活动连接。
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