[实用新型]硅片自动清洗脱胶一体机的输送装置

摘要

本实用新型公开了一种能够实现硅片翻面，从而实现硅片两面自动清洗和脱胶的硅片自动清洗脱胶一体机的输送装置。该硅片自动清洗脱胶一体机的输送装置，所述硅片自动清洗脱胶一体机包括输送装置和清洗脱胶装置；所述清洗脱胶装置设置在输送装置的上方；所述输送装置包括两个水平输送装置以及翻面输送装置；所述翻面输送装置位于两个水平输送装置之间；所述两条所述滑道位于水平输送装置的两侧。采用该硅片自动清洗脱胶一体机的输送装置，能够提高工作效率，降低生产成本。

主权项

1.硅片自动清洗脱胶一体机的输送装置，所述硅片自动清洗脱胶一体机包括输送装置和清洗脱胶装置(1)；所述清洗脱胶装置(1)设置在输送装置的上方；其特征在于：所述输送装置包括两个水平输送装置以及翻面输送装置(2)；所述翻面输送装置(2)包括两条平行的滑道(7)；所述滑道(7)上设置有支撑座(3)；两条所述滑道之间设置有硅片输送装置(22)；两条所述滑道(7)的中间位置均设置有硅片旋转夹盘(21)；所述硅片旋转夹盘(21)位于两条所述滑道(7)之间；两个所述硅片旋转夹盘(21)之间具有安装硅片输送装置(22)的间距；两个所述硅片旋转夹盘(21)的转轴共线；所述硅片旋转夹盘(21)包括转盘(211),所述转盘(211)上设置有沿圆周均匀分布的夹片组；所述夹片组具有偶数组；所述夹片组包括两片夹片(212)，所述两片夹片(212)之间具有与硅片匹配的夹槽(213)；所述滑道(7)上设置有驱动两个所述硅片旋转夹盘(21)中任意一个或者两个转动的第二驱动电机(23)；所述滑道(7)上安装有硅片移动到夹槽(213)时控制硅片输送装置(22)制动，且控制第二驱动电机(23)启动的限位开关(24)；所述翻面输送装置(2)位于两个水平输送装置之间；所述两条所述滑道(7)位于水平输送装置的两侧。