[实用新型]一种碳化硅外延法制备石墨烯的装置有效

专利信息
申请号: 201721411338.1 申请日: 2017-10-29
公开(公告)号: CN207845164U 公开(公告)日: 2018-09-11
发明(设计)人: 刘兴翀;魏欣;魏泽忠 申请(专利权)人: 成都格莱飞科技股份有限公司
主分类号: C01B32/188 分类号: C01B32/188
代理公司: 成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218 代理人: 袁英
地址: 610041 四川省成都市高新区天*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型公开了一种碳化硅外延法制备石墨烯的装置,包括了进气装置、反应装置和尾气处理装置,所述进气装置包括了进气管、气体流量控制器组件及控制阀门组件;所述反应装置包括了设置在反应装置内壁上铜管A、感应线圈A、高频感应加热设备、多个镍铬铁合金托盘和多个金属多孔板;所述反应装置的左侧设有抽气阀门,接入离所述反应装置近端的分子泵A和远端的机械泵;所述尾气处理装置包括气体流量控制器B、加热室、储气室。该装置生产出的石墨烯量多,达到工业生产的标准,同时对废气进行处理,不会对环境造成影响。
搜索关键词: 反应装置 石墨烯 气体流量控制器 尾气处理装置 碳化硅外延 进气装置 高频感应加热设备 控制阀门组件 本实用新型 金属多孔板 镍铬铁合金 托盘 抽气阀门 感应线圈 装置生产 储气室 分子泵 机械泵 加热室 进气管 内壁 铜管 废气
【主权项】:
1.一种碳化硅外延法制备石墨烯的装置,包括了进气装置、反应装置和尾气处理装置,其特征在于:所述进气装置包括了进气管、气体流量控制器组件及控制阀门组件;所述反应装置包括了设置在反应装置内壁上铜管A、设置在铜管A上的感应线圈A、与感应线圈A相连的高频感应加热设备、多个镍铬铁合金托盘和多个金属多孔板;所述反应装置的底部和顶部分别设有多个进气口和出气口;所述反应装置的左侧设有抽气阀门,接入离所述反应装置近端的分子泵A和远端的机械泵;所述反应装置的出气口设有一个分子泵B;所述尾气处理装置包括氢气流量控制器B、加热室、储气室。
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