[实用新型]一种智能嗅觉气味阵列传感器

摘要

本实用新型公开了一种智能嗅觉气味阵列传感器，其组成包括芯片，所述的芯片上表面设置有电绝缘层，所述的电绝缘层内设置有加热器和测温器，所述的测温器设置在加热器之间，所述的电绝缘层上表面设置有不同类型的气味传感器膜层，不同类型所述的气味传感器膜层成阵列布置，所述的气味传感器膜层里嵌入不同类型气味传感器，所述的不同类型气味传感器上设置有传感器电极，所述的电绝缘层上表面两侧设置有数个电极引线柱。该传感器以微电子技术为主体，实现多传感器的阵列于同一芯片，用薄膜技术使传感器进入微米级，以纳米技术制造传感器，最大提高表面体积比，使传感器的灵敏度有质量上的超越。

主权项

一种智能嗅觉气味阵列传感器，其组成包括：芯片（1），其特征是：所述的芯片（1）上表面设置有电绝缘层（3），所述的电绝缘层（3）内设置有加热器（2）和测温器（6），所述的测温器（6）设置在加热器（2）之间，所述的电绝缘层（3）上表面设置有不同类型的气味传感器膜层（5），不同类型所述的气味传感器膜层（5）成阵列布置，所述的气味传感器膜层（5）里嵌入不同类型气味传感器（7），所述的不同类型气味传感器（7）上设置有传感器电极（4），所述的电绝缘层（3）上表面两侧设置有数个电极引线柱（8）。