[实用新型]一种应用于圈形工件的PVD镀膜清洗挂盘

摘要

本实用新型公开了一种应用于圈形工件的PVD镀膜清洗挂盘，包括相对同心圆叠合的挂物盘和限位盘；挂物盘为圆盘状，挂物盘中心设有挂物盘挂杆孔，挂物盘的边缘设置圆弧状固定部，固定部上设有若干弹簧线，弹簧线的端部连接有圆弧状的工件连接部，工件连接部的端部延伸设置有平台部和垂直连接在平台部的阻挡部；限位盘为圆盘状，限位盘中心设有限位盘挂杆孔，限位盘的边缘环绕设有钢线圈，限位盘挂杆孔与钢线圈通过支撑钢线连接。本实用新型的应用于圈形工件的PVD镀膜清洗挂盘具有固定效果好、使用便捷和成本低廉的特点。

主权项

一种应用于圈形工件的PVD镀膜清洗挂盘，其特征在于：包括相对同心圆叠合的挂物盘和限位盘；所述挂物盘为圆盘状，所述挂物盘中心设有挂物盘挂杆孔，所述挂物盘的边缘设置圆弧状固定部，所述固定部上设有若干弹簧线，所述弹簧线的端部连接有圆弧状的工件连接部，所述工件连接部的端部延伸设置有平台部和垂直连接在平台部的阻挡部；所述限位盘为圆盘状，所述限位盘中心设有限位盘挂杆孔，所述限位盘的边缘环绕设有钢线圈，所述限位盘挂杆孔与所述钢线圈通过支撑钢线连接。