[实用新型]一种硅片清洗机烘干隧道出口EPE罩有效
| 申请号： | 201721421142.0 | 申请日： | 2017-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN207335354U | 公开（公告）日： | 2018-05-08 |
| 发明（设计）人： | 倪占翔;陆继波;陈董良 | 申请（专利权）人： | 镇江环太硅科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B15/14 | 分类号： | F26B15/14;F26B21/00 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 任立 |
| 地址： | 212218 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片清洗机烘干隧道出口EPE罩，包括清洗机以及烘干隧道，清洗机为清洗水槽，水槽中放置有塑料片盒，塑料片盒中放置有硅片，清洗机的两端设有相贯通的开口，穿过两端开口设有延伸至烘干隧道左侧和右侧的机械轨道，烘干隧道包括干燥箱体以及EPE罩，干燥箱体的内壁上方设有多个高温加热管以及进风口，干燥箱体内壁的下方设有出风口，干燥箱体为两侧相贯通的硅片承载轨道，硅片承载轨道的出口处的外壁向外延伸包裹有EPE罩5，本实用新型所设计的硅片清洗机烘干隧道出口EPE罩，既防止热量快速散失又加长了烘干隧道长度，硅片得到了充分烘干，结构简单，维护方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 烘干 隧道 出口 epe | ||
【主权项】：
1.一种硅片清洗机烘干隧道出口EPE罩，包括清洗机（1）以及烘干隧道（3），其特征在于：所述清洗机为清洗水槽，所述水槽中放置有塑料片盒（2），所述塑料片盒（2）中放置有硅片，所述清洗机（1）的两端设有相贯通的开口，穿过两端开口设有延伸至烘干隧道（3）左侧和右侧的机械轨道，所述的烘干隧道（3）包括干燥箱体（4）以及EPE罩（5），所述干燥箱体（4）的内壁上方设有多个高温加热管（7）以及进风口（8），所述干燥箱体（4）内壁的下方设有出风口（6），所述干燥箱体为两侧相贯通的硅片承载轨道，所述硅片承载轨道的出口处的外壁向外延伸包裹有EPE罩（5）。
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