[实用新型]掩膜板有效
| 申请号： | 201721423403.2 | 申请日： | 2017-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN207331040U | 公开（公告）日： | 2018-05-08 |
| 发明（设计）人： | 张微;曹鹏 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 姜春咸;陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种掩膜板，包括掩膜板本体，所述掩膜板本体上设置有掩膜图形，所述掩膜板本体包括相对的第一表面和第二表面，所述第一表面上设置有凹槽，所述凹槽位于所述掩膜图形以外的区域，所述凹槽底部设置有贯穿所述掩膜板本体的第一通孔。本实用新型能够提高蒸镀时掩膜板的对位精度，从而改善蒸镀效果。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板，包括掩膜板本体，所述掩膜板本体上设置有掩膜图形，其特征在于，所述掩膜板本体包括相对的第一表面和第二表面，所述第一表面上设置有凹槽，所述凹槽位于所述掩膜图形以外的区域，所述凹槽底部设置有贯穿所述掩膜板本体的第一通孔。
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