[实用新型]一种可拆卸碳化硅外延法制备石墨烯的装置有效
| 申请号： | 201721427992.1 | 申请日： | 2017-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN208413859U | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 刘兴翀;魏欣;魏泽忠 | 申请（专利权）人： | 成都格莱飞科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/188 | 分类号： | C01B32/188 |
| 代理公司： | 成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218 | 代理人： | 袁英 |
| 地址： | 610041 四川省成都市高新区天*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可拆卸碳化硅外延法制备石墨烯的装置，所述反应装置包括了设置在反应装置内壁上铜管、设置在铜管上的感应线圈、与感应线圈相连的高频感应加热设备、多个镍铬铁合金托盘和多个金属多孔板，所述金属托盘为内凹形；所述反应装置的顶部为可拆卸结构，设有出气口；所述装置底部设有进气口；所述进气口上通过螺纹连接有进气管，进气管上设置有多个扇形喷嘴；所述反应装置的左侧设有抽气阀门。该生产石墨烯的设备，结构简单，拆卸方便；特别是，在取出石墨烯成品的时候，凹形托盘可以避免石墨烯倾洒造成浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨烯 反应装置 进气口 碳化硅外延 感应线圈 进气管 可拆卸 铜管 高频感应加热设备 本实用新型 金属多孔板 可拆卸结构 镍铬铁合金 托盘 凹形托盘 拆卸方便 抽气阀门 金属托盘 螺纹连接 扇形喷嘴 出气口 内凹形 内壁 倾洒 取出 生产 | ||
【主权项】：
1.一种可拆卸碳化硅外延法制备石墨烯的装置，其特征在于：反应装置包括了设置在反应装置内壁上铜管、设置在铜管上的感应线圈、与感应线圈相连的高频感应加热设备、多个镍铬铁合金托盘和多个金属多孔板，所述镍铬铁合金托盘为内凹形；所述反应装置的顶部为可拆卸结构，设有出气口；所述装置底部设有进气口；所述进气口上通过螺纹连接有进气管，进气管上设置有多个扇形喷嘴；所述反应装置的左侧设有抽气阀门，所述镍铬铁合金托盘两侧焊接在所述金属多孔板上，所述金属多孔板与所述铜管为可拆卸式连接。
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