[实用新型]一种类单晶籽晶的铺设装置及设备有效
| 申请号： | 201721429528.6 | 申请日： | 2017-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN207483895U | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 陈志军;李林东;曾先平;卢亮;苏腾;金浩 | 申请（专利权）人： | 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/14 | 分类号： | C30B11/14;C30B28/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 334100 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种类单晶籽晶的铺设装置及设备，包括控制器、升降支架、真空吸盘、气泵及输气管道；控制器的控制端分别与气泵的驱动端和升降支架的驱动端连接，气泵的输出端与输气管道的输入端连接，输气管道的输出端与真空吸盘的通气口连接；真空吸盘的通气口端与升降支架的移动端连接；真空吸盘的底部具有多个吸盘区域，每个吸盘区域对应一个籽晶，每个吸盘区域至少设有一个吸盘孔；控制器用于控制升降支架带动真空吸盘进行上升或下降运动，以便真空吸盘将预先铺设的籽晶阵列移送至坩埚底部，籽晶阵列为多个籽晶无缝铺设而成。本实用新型实施例在铺设籽晶的过程中降低了籽晶边角碰撞几率，铺设质量和效率较高，无缝化效果更佳。 | ||
| 搜索关键词： | 真空吸盘 籽晶 吸盘 升降支架 输气管道 控制器 气泵 本实用新型 单晶籽晶 铺设装置 驱动端 输出端 通气口 铺设 输入端连接 控制升降 碰撞几率 区域对应 无缝铺设 下降运动 控制端 无缝化 吸盘孔 移动端 边角 支架 坩埚 | ||
【主权项】：
一种类单晶籽晶的铺设装置，其特征在于，包括控制器、升降支架、真空吸盘、气泵及输气管道；所述控制器的控制端分别与所述气泵的驱动端和所述升降支架的驱动端连接，所述气泵的输出端与所述输气管道的输入端连接，所述输气管道的输出端与所述真空吸盘的通气口连接；所述真空吸盘的通气口端与所述升降支架的移动端连接；所述真空吸盘的底部具有多个吸盘区域，每个所述吸盘区域对应一个籽晶，每个所述吸盘区域至少设有一个吸盘孔；所述控制器用于控制所述升降支架带动所述真空吸盘进行上升或下降运动，以便所述真空吸盘将预先铺设的籽晶阵列移送至坩埚底部，所述籽晶阵列为多个籽晶无缝铺设而成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司，未经晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201721429528.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于汽车配件电镀合金的供药装置
- 下一篇：一种多晶铸锭用异形转角加热器
