[实用新型]镀膜喷头及镀膜系统有效
| 申请号： | 201721429549.8 | 申请日： | 2017-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN207958480U | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 吕永贺 | 申请（专利权）人： | 张家港康得新光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 刘锋 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种镀膜喷头及镀膜系统，涉及光学镀膜的技术领域，包括镀膜喷头主体，在所述镀膜喷头主体上设置有用于工艺气体喷出的第一喷出口；在所述第一喷出口两侧设置有保护气体喷出的第二喷出口。本实用新型提供的镀膜喷头及镀膜系统的镀膜喷头主体上的第一喷出口将工艺气体喷出，在第一喷出口两侧的第二喷出口将保护气体喷出，从而使工艺气体与空气隔离，确保工艺气体不受外界的影响，达到更好的镀膜效果。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜喷头 喷出口 工艺气体 喷出 镀膜系统 本实用新型 保护气体 镀膜效果 光学镀膜 空气隔离 两侧设置 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜喷头，其特征在于，包括镀膜喷头主体，在所述镀膜喷头主体上设置有用于工艺气体喷出的第一喷出口；在所述第一喷出口两侧设置有保护气体喷出的第二喷出口；所述镀膜喷头主体上设置有至少一个吸气孔；所述吸气孔位于所述第一喷出口的长度方向的左右两侧，且所述第二喷出口位于所述吸气孔与所述第一喷出口之间。
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