[实用新型]用于产生等离子体的天线结构体

摘要

本实用新型的用于产生等离子体的天线结构体包含包含位于第一平面上并形成为中央部形成折曲，以至一端部与第一方向平行，而另一端部与第二方向平行的第一角部天线导线、从第一角部天线导线的一端部向第二平面延伸形成的第二角部天线导线、从第二角部天线导线延伸且位于第二平面上并形成为中央部形成折曲，以至一端部与第一方向平行，而另一端部与第二方向平行的第三角部天线导线、从第三角部天线导线的另一端部向第一平面延伸形成的第四角部天线导线及从第四角部天线导线延伸且以与第一角部天线导线相隔的状态位于第一平面上并形成为中央部形成折曲，以至一端部与第一方向平行，而另一端部与第二方向平行的第五角部天线导线的角部天线部。

主权项

1.一种用于产生等离子体的天线结构体，所述用于产生等离子体的天线结构体被施加高频电力并在处理室内生成等离子体，其特征在于，包括角部天线部，所述角部天线部包括：第一角部天线导线，位于第一平面上并形成为中央部形成折曲，以至一端部与第一方向平行，而另一端部与第二方向平行；第二角部天线导线，从所述第一角部天线导线的一端部向第二平面延伸形成；第三角部天线导线，从所述第二角部天线导线延伸且位于所述第二平面上并形成为中央部形成折曲，以至一端部与所述第一方向平行，而另一端部与所述第二方向平行；第四角部天线导线，从所述第三角部天线导线的另一端部向所述第一平面延伸形成；及第五角部天线导线，从所述第四角部天线导线延伸且以与所述第一角部天线导线相隔的状态位于所述第一平面上并形成为中央部形成折曲，以至一端部与所述第一方向平行，而另一端部与所述第二方向平行。