[实用新型]新型晶圆检查台宏观照明装置

摘要

本实用新型公开了一种新型晶圆检查台宏观照明装置，其包括：通过安装支架而布置于晶圆检查台前侧、后侧的第一、第二宏观照明光纤；LED灯光源，其连接于第一宏观照明光纤和第二宏观照明光纤；聚光镜，其分别设置于第一宏观照明光纤和第二宏观照明光纤的头部顶端；安装支架设置有对接夹持块，对接夹持块包括：设置于安装支架竖向部的第一夹持件，其设置有第一半圆孔；与第一夹持件可拆卸连接的第二夹持件，其设置有第二半圆孔，第一半圆孔、第二半圆孔共同构成照明光线夹持孔。照明光纤可以通过可拆卸的对接夹持块进行固定或者拆卸，提高了照明光纤安装的便捷性。

主权项

1.一种新型晶圆检查台宏观照明装置，其包括：通过安装支架而布置于晶圆检查台前侧的第一宏观照明光纤；通过安装支架而布置于晶圆检查台后侧的和第二宏观照明光纤；LED灯光源，其连接于第一宏观照明光纤和第二宏观照明光纤；聚光镜，其分别设置于所述第一宏观照明光纤和第二宏观照明光纤的头部顶端；所述安装支架设置有对接夹持块，所述对接夹持块包括：设置于安装支架竖向部的第一夹持件，其设置有第一半圆孔；与第一夹持件可拆卸连接的第二夹持件，其设置有第二半圆孔，所述第一半圆孔、第二半圆孔共同构成照明光线夹持孔，其特征在于，所述第一夹持件、第二夹持件通过螺栓配合螺母进行连接，所述第一夹持件与第二夹持件配合的对接面设置有磁铁吸附块，所述第二夹持件设置有与磁铁吸附块配合的铁块，所述第一夹持件通过轴承组件而可转动地安装于安装支架竖向部。