[实用新型]一种晶圆加工用导送装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆加工用导送装置，包括：底座、转轴、旋转电机、固定座、立柱、滑块、安装座、升降丝杆、升降电机、无杆气缸、气动吸盘，所述的转轴通过轴承安装在底座上，所述的旋转电机输出轴与转轴固接，所述的固定座固接在转轴的上端，所述的立柱竖直固接在固定座的上端面，所述的滑块滑动连接在立柱上，所述的安装座固接在立柱顶端，所述的升降丝杆两端通过轴承座分别与固定座、安装座连接，所述的升降电机固接在安装座上，且升降电机输出轴与升降丝杠固接，所述的无杆气缸固接在滑块侧面，所述的气动吸盘固接在无杆气缸的工作端，气动吸盘通过气管与气泵连接。本实用新型具有结构简单、定位准确、使用效果好等优点。

主权项

1.一种晶圆加工用导送装置，包括：底座(1)、转轴(2)、旋转电机(3)、固定座(4)、立柱(5)、滑块(6)、安装座(7)、升降丝杆(8)、升降电机(9)、无杆气缸(10)、气动吸盘(11)，其特征在于：所述的底座(1)为水平工作台，所述的转轴(2)通过轴承安装在底座(1)上，所述的旋转电机(3)输出轴与转轴(2)固接，所述的固定座(4)固接在转轴(2)的上端，所述的立柱(5)竖直固接在固定座(4)的上端面，所述的滑块(6)滑动连接在立柱(5)上，滑块(6)后部开有螺纹孔，所述的安装座(7)固接在立柱(5)顶端，所述的升降丝杆(8)两端通过轴承座分别与固定座(4)、安装座(7)连接，所述的升降电机(9)固接在安装座(7)上，且升降电机(9)输出轴与升降丝杆(8)固接，所述的无杆气缸(10)固接在滑块(6)侧面，所述的气动吸盘(11)固接在无杆气缸(10)的工作端，气动吸盘(11)通过气管与气泵连接。