[实用新型]一种由氟硅酸制备氟化氢的设备

摘要

本实用新型提出了一种由氟硅酸制备氟化氢的设备，包括：依次连通的分解釜、洗涤塔、冷凝器、吸收釜以及固液分离装置；所述分解釜用于分解氟硅酸；所述洗涤塔用于吸收四氟化硅和氟化氢混合气体中夹带的水分；所述冷凝器用于把氟化氢气体冷凝为液体，使之与四氟化硅气体分离；所述吸收釜用于稀氟硅酸吸收四氟化硅气体；所述固液分离装置用于分离浓氟硅酸与二氧化硅。本实用新型通过稀硫酸浓缩，重新成为浓硫酸，减少了稀硫酸的排放，使得硫酸成为中间体，把氟硅酸分解为氟化氢和二氧化硅。

主权项

1.一种由氟硅酸制备氟化氢的设备，其特征在于，包括：依次连通的分解釜、洗涤塔、冷凝器、吸收釜以及固液分离装置；所述分解釜用于分解氟硅酸，其包括浓硫酸第一进口、浓氟硅酸进口、四氟化硅和氟化氢混合气体第一出口、以及稀硫酸出口；所述洗涤塔用于吸收四氟化硅和氟化氢混合气体中夹带的水分，其包括浓硫酸第二进口、四氟化硅和氟化氢混合气体第一进口、四氟化硅和氟化氢混合气体第二出口以及浓硫酸第一出口；所述浓硫酸第一出口与所述浓硫酸第一进口连通，用于分解釜中浓氟硅酸的分解；所述冷凝器用于把氟化氢气体冷凝为液体，使之与四氟化硅气体分离，其包括四氟化硅和氟化氢混合气体第二进口、液体氟化氢出口以及四氟化硅气体出口；所述四氟化硅和氟化氢混合气体第二进口与四氟化硅和氟化氢混合气体第二出口相连；所述液体氟化氢出口与液体储罐相连；所述吸收釜用于稀氟硅酸吸收四氟化硅气体，使得稀氟硅酸成为浓氟硅酸并同时析出二氧化硅；其包括稀氟硅酸进口、四氟化硅气体进口、以及浓氟硅酸和二氧化硅固体出口；所述固液分离装置用于分离浓氟硅酸与二氧化硅；其包括浓氟硅酸和二氧化硅固体进口、浓氟硅酸出口、清洗液进口、清洗液出口以及二氧化硅出口；所述浓氟硅酸和二氧化硅固体进口与浓氟硅酸和二氧化硅固体出口相连，所述浓氟硅酸出口与浓氟硅酸进口相连。