[实用新型]新型扩散源瓶装置及扩散源瓶系统

摘要

本实用新型公开了一种新型扩散源瓶装置及扩散源瓶系统，包括固定源瓶、进气管、出气管、供液源瓶及挡板。进气管的一端位于固定源瓶的外部，另一端位于其内部且靠近其底部；出气管的一端位于固定源瓶的外部，另一端位于其内部且靠近其顶部；供液源瓶位于固定源瓶上方，通过加液管道与其连通，且加液管道的底端靠近其底部；挡板设于固定源瓶的内部，且进气管与出气管位于其一侧、加液管道位于其另一侧；挡板的顶边高于加液管道的底端，挡板的侧边与固定源瓶的侧壁连接，挡板的底边与固定源瓶的底部连接，且挡板的底部设有通液孔。本实用新型中的供液源瓶能够自动地为固定源瓶供给源，使得液位保持恒定，解决了现有的扩散源瓶装置不便于换源的问题。

主权项

一种新型扩散源瓶装置，其特征在于，包括固定源瓶、进气管、出气管、供液源瓶及挡板；所述进气管的一端位于所述固定源瓶的外部，所述进气管的另一端位于所述固定源瓶的内部且靠近所述固定源瓶的底部；所述出气管的一端位于所述固定源瓶的外部，所述出气管的另一端位于所述固定源瓶的内部且靠近所述固定源瓶的顶部；所述供液源瓶位于所述固定源瓶上方，通过加液管道与所述固定源瓶连通，且所述加液管道的底端靠近所述固定源瓶的底部；所述挡板设于所述固定源瓶的内部，且所述进气管与所述出气管位于其一侧、所述加液管道位于其另一侧；所述挡板的顶边高于所述加液管道的底端，所述挡板的侧边与所述固定源瓶的侧壁连接，所述挡板的底边与所述固定源瓶的底部连接，且所述挡板的底部设有通液孔。