[实用新型]一种新型PECVD石墨舟

摘要

本实用新型公开一种新型PECVD石墨舟，包括有多个石墨舟片、多个快拆杆，石墨舟片上开设有若干开孔，不同石墨舟片上的开孔逐一对齐、组合成穿设通道；快拆杆包括有陶瓷管、连接杆、第一压片、第二压片、锁紧扳块，陶瓷管穿设于穿设通道内，连接杆穿插在陶瓷管的通孔内，连接杆的一端连接第一压片，连接杆的另一端贯穿第二压片后与锁紧扳块铰接，锁紧扳块设有锁紧部、解锁部，锁紧部的侧面与铰接点的最长直线距离大于解锁部的侧面与铰接点的最长直线距离。与现有技术相比，本实用新型简化石墨舟片之间的拆装过程，节省时间。

主权项

1.一种新型PECVD石墨舟，包括有多个石墨舟片(100)、多个快拆杆(200)，所述石墨舟片(100)上开设有若干开孔，不同所述石墨舟片(100)上的开孔逐一对齐、组合成穿设通道(101)；所述快拆杆(200)包括有陶瓷管(201)、连接杆(207)、第一压片(202)、第二压片(203)、锁紧扳块(204)，所述陶瓷管(201)穿设于所述穿设通道(101)内，所述陶瓷管(201)的长度等于或长于所述穿设通道(101)的长度，所述陶瓷管(201)内设有通孔(220)，所述通孔(220)沿所述陶瓷管(201)的轴向设置、贯穿所述陶瓷管(201)的端部；所述连接杆(207)穿插于所述通孔(220)内，所述连接杆(207)的一端连接第一压片(202)，所述连接杆(207)的另一端伸出所述通孔(220)外、贯穿所述第二压片(203)；所述第一压片(202)、所述第二压片(203)的面积均大于所述穿设通道(101)的端口面积；所述锁紧扳块(204)设于所述第二压片(203)远离所述陶瓷管(201)的一侧，所述锁紧扳块(204)与所述连接杆(207)的端部铰接；所述锁紧扳块(204)与所述连接杆(207)铰接的一端设有锁紧部(205)、解锁部(206)，所述锁紧部(205)的侧面与铰接点的最长直线距离大于所述解锁部(206)的侧面与铰接点的最长直线距离。