[实用新型]一种带膜厚修正功能的柱形靶旋转挡板有效
| 申请号： | 201721491525.5 | 申请日： | 2017-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN207498458U | 公开（公告）日： | 2018-06-15 |
| 发明（设计）人： | 李东滨;秦正春;吴疆;冯斌;王德苗;金浩 | 申请（专利权）人： | 苏州求是真空电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林;俞翠华 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种带膜厚修正功能的柱形靶旋转挡板，包括半环形挡板、两个条状件和膜厚修正板；所述的半环形挡板的横截面为半多边形或者半圆形；所述的两个条状件的延伸方向与半环形挡板的延伸方向相同，且分别与所述半环形挡板的两个端部相连；所述膜厚修正板包括弧形状的第一修正板和第二修正板，所述第一修正板与第二修正板结构相同，且二者对称设置，二者展平后均呈等腰梯形状，等腰梯形的长边与条状件相连，等腰梯形上与前述长边相对的短边处于自由状态，且所述短边的长度与柱形靶上膜厚大于设定值的厚膜的竖直长度相等。本实用新型结构简单，将膜厚修正板集成安装在挡板上，在对膜厚修正板进行调整、安装和维护时，无需对柱形靶进行拆装，从而大大减小了工作量。 1 | ||
| 搜索关键词： | 半环形挡板 膜厚修正板 修正板 柱形靶 条状件 本实用新型 等腰梯形 修正功能 旋转挡板 长边 短边 膜厚 等腰梯形状 长度相等 对称设置 集成安装 自由状态 挡板 弧形状 延伸 拆装 厚膜 减小 上膜 竖直 展平 工作量 维护 | ||
【主权项】：
1.一种带膜厚修正功能的柱形靶旋转挡板，其特征在于：包括半环形挡板、两个条状件和膜厚修正板；
所述的半环形挡板的横截面为半多边形或者半圆形；
所述的两个条状件的延伸方向与半环形挡板的延伸方向相同，且分别与所述半环形挡板的两个端部相连；
所述膜厚修正板包括弧形状的第一修正板和第二修正板，所述第一修正板与第二修正板结构相同，且二者对称设置，二者展平后均呈等腰梯形状，其中，等腰梯形的长边与条状件相连，等腰梯形上与前述长边相对的短边处于自由状态，且所述短边的长度与柱形靶上膜厚大于设定值的厚膜的竖直长度相等。
2.根据权利要求1所述的一种带膜厚修正功能的柱形靶旋转挡板，其特征在于：所述半环形挡板的横截面为半八边形。3.根据权利要求1所述的一种带膜厚修正功能的柱形靶旋转挡板，其特征在于：所述第一修正板和第二修正板分别与对应的条状件活动相连。4.根据权利要求3所述的一种带膜厚修正功能的柱形靶旋转挡板，其特征在于：所述第一修正板和第二修正板分别与对应的条状件之间为螺纹连接。5.根据权利要求1所述的一种带膜厚修正功能的柱形靶旋转挡板，其特征在于：所述条状件为不锈钢竖条或者铝竖条。6.根据权利要求1所述的一种带膜厚修正功能的柱形靶旋转挡板，其特征在于：所述第一修正板和第二修正板上的短边与半环形挡板之间的距离根据溅射膜厚在竖直方向的分布确定，且所述短边的长度与柱形靶上膜厚大于设定值的厚膜的竖直长度相等。
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