[实用新型]研磨装置

摘要

本实用新型的目的为抑制研磨装置中雾或碎屑的飞散。本实用新型的解决手段为一种研磨装置，包括：附有吸引功能的桌台；旋转砥石，用于研磨由桌台前方突出的基板的边缘；盖，覆盖在旋转砥石的外侧，并具有嵌入基板的研磨边缘部分的开口；排出口，位于吸引盖内；移动手段，用以将桌台或盖于左右方向进退移动；基材，支持于盖侧，并配置于基板的研磨边缘上下；左右方向的中空集蓄部，设置于基材内；上侧洗涤喷嘴及下侧洗涤喷嘴，于中空集蓄部两端连通流入端，并使流出吐出口朝向基板的研磨缘；上侧供给路及下侧供给路，用以于上下集蓄部中间供给洗涤水与空气的混合流体；以及喷嘴，支持于盖侧，并于研磨部位喷射研削水与空气的混合流体。

主权项

1.一种研磨装置，其特征在于，包括：附有吸引功能的桌台，其上面是保持供给载置的基板；旋转砥石，在该桌台前方研磨由该桌台前缘突出的该基板边缘；盖，覆盖该旋转砥石外侧，且具有用以从该桌台侧周壁嵌入该基板的研磨边缘部分的开口；排出口，与该盖的底面连通设置；移动装置，使该桌台或该盖于左右方向进退移动；左右方向为长型的两基材，支持于该盖侧，并配置于该基板的研磨边缘的上下侧；左右方向为中空的多个集蓄部，设置于该两基材内；上侧洗涤喷嘴及下侧洗涤喷嘴，在中空的该集蓄部两端连通流入端，并使该上侧洗涤喷嘴及该下侧洗涤喷嘴的流出口朝向该基板的研磨边缘；上侧供给路及下侧供给路，设置为在该些集蓄部的中间供给洗涤水与空气的混合流体；以及喷嘴，支持于该盖侧，并往该旋转砥石与该基板的研磨部位喷射研削水与空气的混合流体。