[实用新型]一种基板传送装置以及包括该装置的裂片系统

摘要

本实用新型公开一种基板传送装置以及包括该装置的裂片系统，基板传送装置包括相邻设置的一第一传送机构和一第二传送机构，于一传送方向上，第二传送机构设置于第一传送机构的后侧，其还包括一辅助传送机构，辅助传送机构包括一辅助夹具，辅助夹具连接在第一传送机构上，第一传送机构带动辅助夹具依着一顺行方向与一逆行方向移动，其中，辅助夹具依着顺行方向移动时为一夹紧状态，而辅助夹具依着逆行方向移动时则为一释放状态。本实用新型的基板传送装置以及包括该装置的裂片系统通过辅助传送机构夹紧基板，以将包括基板末排的全部基板都准确传送到位，而后辅助传送机构回位并准备一下辅助传送，结构简单，实施方便，效果显著。

主权项

一种基板传送装置，包括相邻设置的一第一传送机构和一第二传送机构，于一传送方向上，所述第二传送机构设置于所述第一传送机构的后侧，其特征在于，还包括：一辅助传送机构，其包括：一辅助夹具，连接在所述第一传送机构上，所述第一传送机构带动所述辅助夹具依着一顺行方向与一逆行方向移动；其中，所述辅助夹具依着所述顺行方向移动时为一夹紧状态，而所述辅助夹具依着所述逆行方向移动时则为一释放状态。