[实用新型]一种薄膜或薄片材料平面热导率的测试装置

摘要

本实用新型公开了一种薄膜或薄片材料平面热导率的测试装置，该系统主要由四部分组成，第一部分是测试样品温度的设备——红外热像仪；第二部分是真空腔，真空腔内部包括两块半圆形铜电极，一个底板，四根金属支撑杆，四个螺母，四个螺杆，一个复合真空计，十个陶瓷连接件，两根导线；第三部分是二级真空泵，包括一个扩散泵和一个分子泵；第四部分是直流电源。本实用新型是基于傅里叶一维稳态热传导的基本原理设计的，具有操作简便，测试过程时间短，测试精度高等特点。

主权项

1.一种薄膜或薄片材料平面热导率的测试装置，其特征在于，所述装置包括控制柜、红外热像仪、真空腔、二级真空泵和直流电源；所述真空腔设置于控制柜的柜体上表面上，所述真空腔包括真空腔体，所述真空腔体的上表面设有放气阀，真空腔体侧壁外表面上设有4个插头组件、复合真空计探测器和两个冷却水预留口；所述真空腔体内部设有与真空腔体内壁连接的上盖板；所述上盖板上设有放气阀，并且在所述上盖板中心位置设有圆形窗口，所述圆形窗口上覆盖有多光谱硫化锌玻璃；所述真空腔体底部设有金属支撑杆；所述金属支撑杆顶端支撑一个水平的底板；所述底板上固定安装两块半圆形铜电极；每块所述铜电极通过与底板之间通过五个陶瓷连接件隔开；所述两块半圆形铜电极均位于所述上盖板下方；在所述真空腔体的顶部设有顶盖；所述二级真空泵设置于控制柜内部；所述二级真空泵包括分子泵和机械泵；所述真空泵通过插板阀与所述真空腔体底部相连；所述直流电源通过导线分别与所述铜电极相连。