[实用新型]硅片清洗花篮有效
| 申请号： | 201721518121.0 | 申请日： | 2017-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN207533614U | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 吴世钦 | 申请（专利权）人： | 常州市杰洋精密机械有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B13/00;H01L21/673 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 李明 |
| 地址： | 213125 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片清洗花篮，包括一对支架以及设置在所述一对支架间的花篮齿杆，其中，所述花篮齿杆分为固定齿杆与活动齿杆；每个所述支架上均设置有L型卡槽，所述活动齿杆的端部设置有长方体型的卡销，所述卡销能够卡设在所述L型卡槽内，实现所述活动齿杆与一对所述支架的固定。克服现有的硅片清洗花篮上部齿杆的固定存在的缺陷，而提供一种硅片清洗花篮，增加上部活动齿杆从而避免出现硅片上部出现粘连影响硅片清洗的效果，另外减小上部活动齿杆与支架之间固定付出的力，减小劳动强度，提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 活动齿杆 支架 硅片清洗花篮 花篮齿 减小 本实用新型 长方体型 工作效率 固定齿杆 硅片清洗 粘连 硅片 齿杆 卡销 | ||
【主权项】：
1.硅片清洗花篮，其特征在于，包括一对支架（4）以及设置在所述一对支架（4）间的花篮齿杆，其中，所述花篮齿杆分为固定齿杆（2）与活动齿杆（1）；每个所述支架（4）上均设置有L型卡槽（3），所述活动齿杆（1）的端部设置有长方体型的卡销（5），所述卡销（5）能够卡设在所述L型卡槽（3）内，实现所述活动齿杆（1）与一对所述支架（4）的固定。
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