[实用新型]一种硅片清洗自动提拉装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片清洗自动提拉装置，包括气动推拉泵、清洗槽体隔板、连接横杆、调位拉环、载片篮，所述气动推拉泵呈立式固定在清洗槽体隔板上，所述连接横杆悬置于清洗槽体隔板下部，所述气动推拉泵的伸缩杆穿过清洗槽体隔板与连接横杆连接，所述连接横杆固定连接调位拉环，调位拉环钩挂载片篮，载片篮悬置在清洗槽上部。硅片清洗自动提拉装置利用气动推拉泵实现上下往复运动；利用调节控制器控制气动推拉泵上下运动行程及运动频率，同时进行自动提拉时间控制；利用连接横杆实现左右悬挂平衡；利用调位拉环钩挂载片篮且可进行位置调节。该装置实现了硅片清洗自动化，替代双手操作，结构简单实用性强。

主权项

1.一种硅片清洗自动提拉装置，其特征在于，包括气动推拉泵(1)、清洗槽体隔板(8)、连接横杆(4)、调位拉环(5)、载片篮(6)，所述气动推拉泵(1)呈立式固定在清洗槽体隔板(8)上，所述连接横杆(4)悬置于清洗槽体隔板(8)下部，所述气动推拉泵(1)的伸缩杆(3)穿过清洗槽体隔板(8)与连接横杆(4)连接，所述连接横杆(4)固定连接调位拉环(5)，调位拉环(5)钩挂载片篮(6)，载片篮(6)悬置在清洗槽(7)上部。