[实用新型]一种集成式芯片应力检测设备

摘要

本实用新型公开了一种集成式芯片应力检测设备，所述检测设备包括上光路装置、下光路装置和控制器，所述上光路装置包括上光路集成箱和上光路光机电组件，所述上光路光机电组件包括固定在上光路集成箱内的图像采集器、位于图像采集器中间的旋转台以及与旋转台连接的驱动器；所述下光路装置包括下光路集成箱、下光路光机电组件以及升降立柱，所述下光路光机电组件包括连接在下光路集成箱上的载物台和安装在下光路集成箱内的光源发射器，所述升降立柱的一侧上滑动连接有电机驱动的高度调节板，所述上光路集成箱安装在高度调节板上，所述控制器分别与高度调节板和载物台的驱动电机连接。本实用新型利用相应的软件精准控制，确保设备检测的精准。

主权项

一种集成式芯片应力检测设备，其特征在于：所述检测设备包括上光路装置(1)、下光路装置(2)和控制器(3)，所述上光路装置(1)包括上光路集成箱(11)和安装在上光路集成箱(11)内的上光路光机电组件(12)，所述上光路光机电组件(12)包括固定在上光路集成箱(11)内的图像采集器(121)、设置于图像采集器(121)中部的旋转台组(122)以及与旋转台组(122)连接的驱动器(123)；所述下光路装置(2)包括下光路集成箱(21)、下光路光机电组件(22)以及升降立柱(23)，所述下光路光机电组件(22)包括连接在下光路集成箱(21)上的二维扫描载物台(221)和安装在下光路集成箱(21)内的光源发射器(222)，所述升降立柱(23)的一侧上滑动连接有电机驱动的高度调节板(231)，所述上光路集成箱(11)连接在高度调节板(231)上，所述控制器(3)分别与高度调节板(231)和二维扫描载物台(221)上的驱动电机连接。