[实用新型]一种集成式激光电离效应模拟系统

摘要

本实用新型公开了一种集成式激光电离效应模拟系统，该系统将调整底座、光源、衰减与光束调整模块、显微观察模块及测试与存储模块一体化集成，光源可选择输出266nm、532nm和1064nm三个波段的激光，可满足不同半导体器件辐射电离效应模拟的需求，整个系统具有方便、快捷、准确、安全性高等特点，可有效降低半导体器件的试验成本，提高试验效率，缩短抗辐射加固的设计周期。

主权项

1.一种集成式激光电离效应模拟系统，其特征在于：包括用于稳定支撑整个模拟系统的调整底座（I）、光源（II）、用于对单脉冲激光能量进行调整的衰减与光束调整模块（III）、用于对半导体器件测试样品（20）进行成像的显微观察模块（IV）、用于采集记录辐射电离效应的响应电信号和控制光斑位置的测试与存储模块（V）；所述光源（II）包含可自由切换266nm、532nm或1064nm三种波段的脉冲激光的脉冲激光器（3），所述衰减与光束调整模块（III）包括衰减镜片模组、反射镜和遮光罩，脉冲激光器（3）、衰减镜片模组、反射镜均安装于遮光罩内，所述脉冲激光器（3）产生的单路脉冲激光在空间位置上依次经过衰减镜片模组、反射镜；所述显微观察模块（IV）包括CCD摄像头（15）、指引光源（16）、激光能量计探头二（18）、分光棱镜二（17）、调焦机构、物镜转盘（19）、物镜、支架；所述CCD摄像头（15）、指引光源（16）、激光能量计探头二（18）、分光棱镜二（17）安装于支架顶部，调焦机构安装于分光棱镜二（17）下面，物镜转盘（19）安装于调焦机构的下面，物镜安装于物镜转盘（19）的下面；在空间位置上，从衰减与光束调整模块出射的激光，经过反射镜后到达分光棱镜二（17）。