[实用新型]一种用于原子层沉积薄膜疲劳定角弯曲测试机

摘要

本实用新型属于薄膜折弯相关领域，并公开了一种用于原子层沉积薄膜疲劳定角弯曲测试机。该测试机包括底板和设置在该底板上的折弯机构、传动机构和驱动机构，折弯机构包括固定连接在底板上第一托架和第二托架，以及相对设置的第一盖板和第二盖板，第一盖板通过薄膜上夹具与第一托架和第二托架连接，第二盖板通过薄膜下夹具与底板连接；传动机构用于连接折弯机构和驱动机构，包括曲柄、连杆和摇杆；驱动机构包括电机和第三托架，电机转动后通过传动机构带动第一盖板翻转，从而实现薄膜的折弯。通过本实用新型，实现对薄膜进行定角度反复弯曲，折弯时不破坏折弯区域，利于后期观察，且结构简单，效率高。

主权项

1.一种用于原子层沉积薄膜疲劳定角弯曲测试机，该测试机包括底板和设置在该底板上的折弯机构、传动机构和驱动机构，其特征在于，所述折弯机构设置在底板(1)的一端，包括固定连接在所述底板上的第一托架(2)和第二托架(5)，以及设置在该第一托架和第二托架之间的第一盖板(4)和第二盖板(12)，该第一盖板和第二盖板相对设置用于放置待折弯薄膜，其中，所述第一盖板通过薄膜上夹具(3)与所述第一托架和第二托架连接，所述第二盖板通过薄膜下夹具(11)与所述底板连接；所述传动机构设置在底板(1)的中部，包括依次连接的曲柄(7)、连杆(8)和摇杆(15)，其中，所述曲柄与所述折弯机构连接，所述摇杆与所述驱动机构连接；所述驱动机构设置在底板(1)的另一端，包括电机(10)和第三托架(16)，该电机和第三托架之间设置有第二联轴器(9)，用于连接所述电机和所述摇杆(15)，所述电机转动后通过所述传动机构带动所述第一盖板翻转，从而实现薄膜的折弯。