[实用新型]一种单晶炉钼导流筒热场隔热装置

摘要

一种单晶炉钼导流筒热场隔热装置，包括石墨导流筒与反射屏，石墨导流筒外侧设有反射屏，所述反射屏包括反射内屏、反射外屏、反射里屏以及隔热层，反射内屏设于石墨导流筒外侧，反射外屏与反射内屏连接，并设于反射内屏外侧，发射里屏设于反射内屏与反射外屏之间，并固定于反射内屏上，隔热层填充于反射内屏与反射外屏组成的空间中。本实用新型结构简单，实用性强，提高所拉制单晶硅的质量，提高生产率，降低生产成本，增加单晶炉有效使用寿命。

主权项

1.一种单晶炉钼导流筒热场隔热装置，其特征在于，包括石墨导流筒（10）与反射屏（20），石墨导流筒（10）外侧设有反射屏（20），所述反射屏（20）包括反射内屏（21）、反射外屏（22）、反射里屏（23）以及隔热层（30），反射内屏（21）设于石墨导流筒（10）外侧，反射外屏（22）与反射内屏（21）连接，并设于反射内屏（21）外侧，发射里屏（23）设于反射内屏（21）与反射外屏（22）之间，并固定于反射内屏（21）上，隔热层（30）填充于反射内屏（21）与反射外屏（22）组成的空间中。