[实用新型]一种单晶炉高温除氧装置

摘要

本实用新型提供一种单晶炉高温除氧装置，包含炉体、保温层、加热器、石墨坩埚、导流筒和排气孔，所述炉体内部设有所述保温层，所述保温层设置有所述加热器，所述加热器内部设置有所述石墨坩埚，所述石墨坩埚上方设置有所述导流筒，所述保温层底部设置有所述排气孔，所述排气孔穿过所述炉体，其特征在于：所述石墨坩埚和所述导流筒之间设置有氢气通入装置，所述氢气通入装置由母管、进口管、调节阀、支管和喷嘴组成，所述母管为环状，所述母管上对称设置有两根所述进口管，两根所述进口管上设置有所述调节阀，所述母管上倾斜设置有数根所述支管，所述支管出口端设置有所述喷嘴。本装置可大大地降低单晶棒的氧含量，提高单晶硅的品质。

主权项

1.一种单晶炉高温除氧装置，包含炉体（1）、保温层（2）、加热器（3）、石墨坩埚（4）、导流筒（6）和排气孔（7），所述炉体（1）内部设有所述保温层（2），所述保温层（2）设置有所述加热器（3），所述加热器（3）内部设置有所述石墨坩埚（4），所述石墨坩埚（4）上方设置有所述导流筒（6），所述保温层（2）底部设置有所述排气孔（7），所述排气孔（7）穿过所述炉体（1），其特征在于：所述石墨坩埚（4）和所述导流筒（6）之间设置有氢气通入装置（5），所述氢气通入装置（5）由母管（51）、进口管（52）、调节阀（53）、支管（54）和喷嘴（55）组成，所述母管（51）为环状，所述母管（51）上对称设置有两根所述进口管（52），两根所述进口管（52）上设置有所述调节阀（53），所述母管（51）上倾斜设置有数根所述支管（54），相邻两所述支管（54）之间的夹角为60°，所述支管（54）向内倾斜，水平倾角为75°，所述支管（54）出口端设置有所述喷嘴（55），所述喷嘴（55）位于所述石墨坩埚（4）内硅液上方，所述喷嘴（55）喷口倾斜布置，水平倾角为45°。