[实用新型]一种多晶硅全自动生产系统

摘要

本实用新型涉及一种多晶硅全自动生产系统，包括多晶硅原料的处理装置，该装置包括原料检测筛选机、原料清洗装置和原料干燥装置，多晶硅原料的处理装置之后设有原料传输轨道，原料传输轨道的末端连接在多晶硅的铸锭装置上，多晶硅的铸锭装置包括坩埚喷涂装置和抽真空/加热装置，多晶硅的铸锭装置之后设有硅锭传输轨道，多晶硅的铸锭装置末端通往硅锭的裁切装置，所述硅锭的裁切装置依次为开方装置，去头尾装置，磨面、倒角装置以及粘胶装置和切片装置，硅锭的裁切装置之后设有废料的回收装置和硅片的处理装置，硅片的处理装置前后工序依次为硅片的脱胶/清洗/干燥和硅片的包装、入库两部分。本实用新型结构完善，设计合理，可满足实际生产需要。

主权项

1.一种多晶硅全自动生产系统，其特征在于，包括多晶硅原料的处理装置(1)，所述多晶硅原料的处理装置(1)包括原料检测筛选机(2)和原料清洗装置(3)以及原料干燥装置(4)，所述多晶硅原料的处理装置(1)之后设有原料传输轨道(5)，所述原料传输轨道(5)的末端连接在多晶硅的铸锭装置(6)上，所述多晶硅的铸锭装置(6)包括坩埚喷涂装置(7)和抽真空/加热装置(8)，所述多晶硅的铸锭装置(6)之后设有硅锭传输轨道(9)，所述多晶硅的铸锭装置(6)末端通往硅锭的裁切装置(10)，所述硅锭的裁切装置(10)依次为开方装置(11)，去头尾装置(12)，磨面、倒角装置(13)以及粘胶装置(14)和切片装置(15)，所述硅锭的裁切装置(10)之后设有废料的回收装置(19)和硅片的处理装置(16)，所述硅片的处理装置(16)前后工序依次为硅片的脱胶/清洗/干燥(17)和硅片的包装、入库(18)两部分。