[实用新型]用于单晶炉的快捷化料机构

摘要

本实用新型涉及直拉硅单晶炉生长设备的辅助设备，旨在提供一种用于单晶炉的快捷化料机构。该种用于单晶炉的快捷化料机构包括加热电源、提升装置和辅助加热器；提升装置包括电动驱动装置、手动旋钮和提升杆，辅助加热器安装在提升装置的提升杆下端上，并通过连接电缆与炉体外部的加热电源连接，实现对石英坩埚内的多晶料进行辅助熔化。本实用新型通过在石英坩埚的上部设置一个辅助加热器，来有效减少晶体生长过程中的化料时间，从而大幅减少整个单晶生长周期，达到增产降本的目的。 1

主权项

1.一种用于单晶炉的快捷化料机构，其特征在于，包括加热电源、提升装置和辅助加热器；

所述提升装置包括电动驱动装置、手动旋钮和提升杆；提升杆通过炉体上的通孔，提升杆的下端伸入在炉体内，提升杆的上端伸出在炉体外部；提升杆为空心结构，中间通过加热电源和辅助加热器之间的连接电缆；电动驱动装置安装在炉体外部并与提升杆连接，用于提供给提升杆上下升降的动力；手动旋钮设置在提升杆的上端，用于带动提升杆进行旋转；

所述辅助加热器安装在提升装置的提升杆下端上，使辅助加热器能实现：在化料阶段时，通过提升装置悬挂在石英坩埚的正上方，化料结束后，再通过提升装置将加热器提升到一定高度，最后通过手动旋钮将辅助加热器旋到一边；辅助加热器为中心开有圆孔的加热器，辅助加热器通过连接电缆与炉体外部的加热电源连接，实现对石英坩埚内的多晶料进行辅助熔化。

2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的快捷化料机构，其特征在于，所述辅助加热器为圆环形的加热器，圆环的一侧开有缺口，缺口两端分别是辅助加热器的正极和负极，正负两极通过连接电缆与加热电源形成回路；辅助加热器的高温电阻范围在10～30mΩ之间。

3.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的快捷化料机构，其特征在于，所述辅助加热器采用石墨材质的加热器。

4.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的快捷化料机构，其特征在于，所述提升装置采用钼材质的提升杆，能承受大于1500℃的高温。

5.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的快捷化料机构，其特征在于，所述加热电源采用高频直流电源。