[实用新型]一种适用于磁控溅射镀膜设备端头的水汽去除系统有效
| 申请号： | 201721538432.3 | 申请日： | 2017-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN207418853U | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 岳大勇;张青涛;秦燕霖 | 申请（专利权）人： | 吴江南玻华东工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫;陈婷婷 |
| 地址： | 215222 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及玻璃生产技术领域，具体涉及一种适用于磁控溅射镀膜设备端头的水汽去除系统，包括具有封闭内腔的箱体、设于所述箱体中且用于支撑待处理端头的镂空状隔板，所述隔板将所述箱体的所述封闭内腔分隔为上腔室与下腔室，所述系统还包括置于所述箱体下腔室的加热设备、连接所述箱体上腔室的抽真空设备、对所述箱体内的真空度进行检测的真空检测设备以及连接所述待处理端头并用于检测其绝缘性能的绝缘检测设备，本实用新型的水汽去除系统结构简单、操作方便、使用效率高、安全可靠性强，能有效去除待处理端头内部的水汽，从而解决端头的绝缘和漏电问题，可有效减少端头的维修时间和维修成本，实现自主保养。 | ||
| 搜索关键词： | 端头 水汽去除 处理端 磁控溅射镀膜设备 隔板 本实用新型 封闭内腔 玻璃生产技术 绝缘检测设备 真空检测设备 安全可靠性 抽真空设备 加热设备 绝缘性能 漏电问题 使用效率 维修成本 系统结构 箱体上腔 箱体下腔 有效减少 水汽 上腔室 下腔室 镂空状 检测 分隔 绝缘 去除 保养 维修 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种适用于磁控溅射镀膜设备端头的水汽去除系统，其特征在于：包括具有封闭内腔的箱体、设于所述箱体中且用于支撑待处理端头的镂空状隔板，所述隔板将所述箱体的所述封闭内腔分隔为上腔室与下腔室，所述系统还包括置于所述箱体下腔室的加热设备、连接所述箱体上腔室的抽真空设备、对所述箱体内的真空度进行检测的真空检测设备以及连接所述待处理端头并用于检测其绝缘性能的绝缘检测设备，所述抽真空设备、所述真空检测设备和所述绝缘检测设备均设于所述箱体的外侧。
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