[实用新型]晶体铸锭加热器及铸锭设备有效
申请号: | 201721539287.0 | 申请日: | 2017-11-16 |
公开(公告)号: | CN207646330U | 公开(公告)日: | 2018-07-24 |
发明(设计)人: | 武鹏;王双丽;徐岩 | 申请(专利权)人: | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B29/06 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 唐清凯 |
地址: | 221004 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种晶体铸锭加热器及铸锭设备,所述加热器包括顶部加热器和侧部加热器,或所述加热器包括顶部加热器、侧部加热器和底部加热器,所述铸锭设备包括所述加热器。通过改变顶部加热器、侧部加热器和底部加热器的电阻分布情况,即所述顶部加热器的电阻分布为自中间向四周逐渐降低,所述侧部加热器的电阻分布为自上而下逐渐降低,所述底部加热器的电阻分布为自中间向四周逐渐降低,从而实现电阻的分布不均匀,使得在制备晶体硅锭的过程中,能够调整长晶时的固液界面,使其固液界面变平。 | ||
搜索关键词: | 加热器 侧部加热器 顶部加热器 电阻分布 底部加热器 逐渐降低 铸锭设备 固液界面 铸锭 本实用新型 晶体硅锭 不均匀 变平 电阻 制备 | ||
【主权项】:
1.一种晶体铸锭加热器,其特征在于,所述加热器包括顶部加热器和侧部加热器,其中所述顶部加热器和侧部加热器的电阻分布不均匀,所述顶部加热器的电阻分布为自中间向四周逐渐降低,所述侧部加热器的电阻分布为自上而下逐渐降低。
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