[实用新型]一种体放电等离子体发生装置有效
| 申请号： | 201721539369.5 | 申请日： | 2017-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN208258158U | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 李建;童洪辉;王坤;但敏;金凡亚;常兰 | 申请（专利权）人： | 核工业西南物理研究院;成都理工大学工程技术学院 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 核工业专利中心 11007 | 代理人： | 高安娜 |
| 地址： | 610041 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型属于等离子体产生和低温等离子体技术领域，具体涉及一种体放电等离子体发生装置。本装置包括电源、上格栅电极组和下栅格电极组，所述格栅式电极组由多个平行、共面排布的单个格栅电极构成，上格栅电极组和下格栅电极组分别接入电源的两个极，两个格栅式电极可裸露相对，或其中一个埋藏在介质层下一定深度，或者两者都埋藏在介质层下一定深度。本装置降低放电电压；低电场处更有助于气体放电维持和降低无效功率；改变电极结构的电容量，更有利于电路的电容匹配。相比于普通电极结构，本实用新型放电电压低、放电效率高、电容可调节有利于电路匹配和等离子体分布均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 格栅电极 电极组 放电等离子体 本实用新型 电极结构 发生装置 格栅式 介质层 种体 埋藏 低温等离子体技术 等离子体产生 等离子体分布 电路匹配 电容匹配 放电电压 放电效率 接入电源 气体放电 无效功率 低电场 电容量 电压低 可调节 下格栅 电极 电容 放电 排布 下栅 平行 电路 电源 裸露 | ||
【主权项】：
1.一种体放电等离子体发生装置，包括电源、上格栅电极组和下栅格电极组，其特征在于：所述格栅式电极组由多个平行、共面排布的单个格栅电极构成，上格栅电极组和下格栅电极组分别接入电源的两个极，两个格栅式电极可裸露相对，或其中一个埋藏在介质层下一定深度，或者两者都埋藏在介质层下一定深度。
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