[实用新型]一种高精度定位装置

摘要

本实用新型公开了一种高精度定位装置，其具备工作台、阻挡装置、弹性阻尼器、驱动装置、终端位置检测装置、控制器。其中：工作台在驱动力的作用下作线性位移或角度位移，用于外负载的高精度定位；终端位置检测装置用于反馈工作台的位置；驱动装置具备电机；控制器控制驱动装置运行，使得工作台到达目标位置；阻挡装置直接或间接连接至工作台。在工作台趋近目标位置时，驱动装置作用于工作台的力为第一方向力，弹性阻尼器通过阻挡装置而作用于工作台的力为第二方向力，两力互为驱动力、阻力关系。所述第一方向力与第二方向力的同时存在，有利于减小反向间隙以及惯性力所导致的定位误差，提高工作台的定位精度。

主权项

1.一种高精度定位装置，其特征在于：所述高精度定位装置具备工作台(1)、阻挡装置(2)、弹性阻尼器(3)、驱动装置(4)、控制器(6)；所述工作台(1)在驱动力的作用下作线性位移或角度位移；所述阻挡装置(2)直接或间接连接至所述工作台(1)；在工作台(1)趋近目标位置时，所述驱动装置(4)作用于工作台(1)的力为第一方向力，所述弹性阻尼器(3)通过所述阻挡装置(2)而作用于工作台(1)的力为第二方向力，两力互为驱动力、阻力关系；所述第一方向力与第二方向力的同时存在，用于减小反向间隙以及惯性力所导致的定位误差。