[实用新型]一种压力式循环射流电解加工微细阵列电极制备装置

摘要

一种压力式循环射流电解加工微细阵列电极制备装置，包括电解液系统、液压系统、上部壳体部分、下部壳体部分和工具电极部分；所述液压系统包括液压循环部分和液压进给部分，所述液压循环部分包括双向定量泵、电磁换向阀、上部液压缸和下部液压缸，所述上部壳体部分包括上部壳体、上部活塞推板、夹体板和金属圆管，所述上部液压缸安装在上部壳体上，所述下部壳体部分包括下部壳体、下部活塞推板、流油缸、双杆活塞和导向板，所述下部液压缸安装在下部壳体上。本实用新型通过电解液不断在加工间隙循环冲刷实现了压力稳定、液体流速均匀，避免了带有锥度成型电极的出现，提高了阵列微细电极制备效率和质量。

主权项

1.一种压力式循环射流电解加工微细阵列电极制备装置，其特征在于：所述制备装置包括电解液系统、液压系统、上部壳体部分、下部壳体部分和工具电极部分；所述液压系统包括液压循环部分和液压进给部分，所述液压循环部分包括双向定量泵、电磁换向阀、上部液压缸和下部液压缸，所述上部液压缸和下部液压缸均设有进油口，所述双向定量泵通过电磁换向阀分别与上部液压缸的进油口和下部液压缸的进油口连接；所述液压进给部分包括液压单向定量泵、液压节流阀和液压截止阀，所述液压单向定量泵通过液压节流阀与流道进油口连接，所述流道进油口通过液压截止阀与液压油槽连接；液压油槽分别通过液压过滤器与双向定量泵、液压单向定量泵连接；所述上部壳体部分包括上部壳体、上部活塞推板、夹体板和金属圆管，所述上部液压缸安装在上部壳体上，所述上部活塞推板呈“工”字型，所述上部活塞推板的上端安装在上部液压缸内且其下端安装在上部壳体内并能作往复滑动，所述夹体板卡接在上部壳体内且将型腔分成上部型腔和下部型腔，所述夹体板上设有阵列通孔，所述上部壳体的左侧设有电解液进液口，所述电解液进液口位于上部活塞推板与夹体板之间且与上部型腔连通；所述上部壳体的右下侧设有观液口，所述观液口与下部型腔连通，所述金属圆管呈阵列装配在所述夹体板的通孔内；所述下部壳体部分包括下部壳体、下部活塞推板、流油缸、双杆活塞和导向板，所述下部液压缸安装在下部壳体上，所述下部活塞推板呈“工”字型，所述下部活塞推板的上端安装在下部壳体内且其下端安装在下部液压缸内并能作上下往复滑动，所述下部壳体左上侧上设有电解液出液口，所述电解液出液口位于流油缸与下部活塞推板之间且与下部型腔连通，所述流油缸安装在下部壳体内并设有液压油流道，所述下部壳体的右侧上设有所述流道进油口，所述流道进油口与液压油通道连通，所述双杆活塞底部呈“工”字型且装配在所述流油缸上，所述导向板安装在双杆活塞的上端且其顶部中间设有阵列通孔，所述金属圆管的下端伸入到所述阵列通孔中，所述导向板沿着其左右长度方向设有横向槽，所述导向板的前后侧壁上设有纵向槽，所述纵向槽、阵列通孔均与横向槽连通，所述纵向槽、横向槽均与下部型腔连通；所述流油缸的前后宽度和所述导向板的前后宽度均小于所述下部壳体内壁的前后宽度；所述上部活塞推板底部和下部活塞推板顶部长宽与壳体内壁长宽一致并能作无缝隙滑移；所述工具电极部分包括柱状工具电极、电极夹具和薄金属板，所述薄金属板安装在所述导向板的横向槽内且其高度低于横向槽的高度，所述电极夹具采用金属材料，所述电极夹具夹紧柱状工具电极且安装在薄金属板上，所述柱状工具电极与金属圆管一一对应且其上端自下而上伸入到金属圆管内；所述电解液进液口、电解液出液口均与电解液系统连接，所述薄金属板接电源正极，所述金属圆管接电源负极；通过所述双向定量泵和所述电磁换向阀可以使上部活塞推板和下部活塞推板作循环往复运动，液压油通过液压油流道输送及液压节流阀的调节可以使柱状工具电极产生进给运动。