[实用新型]一种坩埚有效
申请号: | 201721560203.1 | 申请日: | 2017-11-20 |
公开(公告)号: | CN207418852U | 公开(公告)日: | 2018-05-29 |
发明(设计)人: | 薛建成;关立伟 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人: | 张京波;曲鹏 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种坩埚,包括:具有埚口的埚体;埚盖,盖装在埚口处、并通过螺栓与埚体锁紧连接在一起;和可发生热膨胀的金属件,设置于埚体和埚盖之间,并在受热时通过自身膨胀来消除埚体和埚盖之间的缝隙。本实用新型提供的坩埚,埚体和埚盖之间设置有可发生热膨胀的金属件,金属件在受热时通过自身的膨胀来挤压埚体和埚盖,以此来消除埚体和埚盖之间的缝隙,使得埚体和埚盖更好地实现密封,避免出现泄漏的问题,防止宕机;另外坩埚在锁紧螺栓时螺栓的锁紧力也不需要特别大,更方便于组装,同时还能够减少埚盖与螺帽因旋紧挤压而带来的磨损,而蒸镀时螺栓会通过金属件的膨胀对锁紧力进行提升补偿、来保证密封,其实用性更好。 | ||
搜索关键词: | 埚盖 埚体 金属件 坩埚 螺栓 热膨胀 本实用新型 受热 膨胀 埚口 密封 挤压 螺帽 锁紧连接 锁紧螺栓 锁紧力 对锁 紧力 旋紧 蒸镀 宕机 磨损 泄漏 组装 保证 | ||
【主权项】:
1.一种坩埚,其特征在于,包括:具有埚口的埚体;埚盖,盖装在所述埚口处、并通过螺栓与所述埚体锁紧连接在一起;和可发生热膨胀的金属件,设置于所述埚体和所述埚盖之间,并在受热时通过自身膨胀来消除所述埚体和所述埚盖之间的缝隙。
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