[实用新型]板材镀膜设备有效
| 申请号： | 201721563337.9 | 申请日： | 2017-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN207483840U | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 施栓林 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 王立民;解立艳 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种板材镀膜设备，包括第一靶材镀膜腔(1)和第二靶材镀膜腔(2)，所述第一靶材镀膜腔(1)与所述第二靶材镀膜腔(2)之间设有隔离腔(3)，所述隔离腔(3)内设有分子泵(4)，所述隔离腔(3)通过第一隔板(5)与所述第一靶材镀膜腔(1)分隔，通过第二隔板(6)与所述第二靶材镀膜腔(2)分隔，所述第一隔板(5)和所述第二隔板(6)上均具有供玻璃通过的狭缝(7)；所述第一隔板(5)上设有吹扫装置(8)。本实用新型能够有效隔离镀膜设备的各个腔室，保证玻璃镀膜质量，具有结构简单和制造成本低的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜腔 隔板 靶材 镀膜设备 隔离腔 本实用新型 分隔 玻璃镀膜 吹扫装置 有效隔离 制造成本 分子泵 腔室 狭缝 玻璃 保证 | ||
【主权项】：
一种板材镀膜设备，包括第一靶材镀膜腔(1)和第二靶材镀膜腔(2)，所述第一靶材镀膜腔(1)与所述第二靶材镀膜腔(2)之间设有隔离腔(3)，所述隔离腔(3)内设有分子泵(4)，其特征在于：所述隔离腔(3)通过第一隔板(5)与所述第一靶材镀膜腔(1)分隔，通过第二隔板(6)与所述第二靶材镀膜腔(2)分隔，所述第一隔板(5)和所述第二隔板(6)上均具有狭缝(7)；所述第一隔板(5)上设有吹扫装置(8)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京铂阳顶荣光伏科技有限公司，未经北京铂阳顶荣光伏科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201721563337.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种真空镀膜除气机构
- 下一篇：一种磁场可调的磁控溅射镀膜阴极机构
- 同类专利
- 专利分类
