[实用新型]悬臂梁式压电薄膜微弱信号传感器有效
申请号: | 201721563410.2 | 申请日: | 2017-11-21 |
公开(公告)号: | CN207456474U | 公开(公告)日: | 2018-06-05 |
发明(设计)人: | 单华锋;曹辉;陈学刚;於群;王家冬;曹凯敏;郁源;王哲琦 | 申请(专利权)人: | 麒盛科技股份有限公司;浙江清华长三角研究院 |
主分类号: | G01D5/12 | 分类号: | G01D5/12;G01N27/00 |
代理公司: | 上海汉盛律师事务所 31316 | 代理人: | 郭海锋 |
地址: | 314016 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种悬臂梁式压电薄膜微弱信号传感器,包括外壳、横梁支架、压电薄膜和信号处理电路,外壳是由上盖和下盖组成的密封空间,横梁支架设于上盖和下盖之间,横梁支架一端通过一个固定支点与所述下盖固定连接,另一端为悬空状态,上盖上设有一个触点,该触点与横梁支架的悬空端相接触,用于压迫横梁支架的悬空端,压电薄膜紧贴于横梁支架朝向上盖的一面。其优点表现为:采用上下盖之间粘合形成封闭外壳,通过在上盖上设计一触点压迫半悬空的横梁支架与压电薄膜,使压电薄膜只受到上盖一侧的振动压力,可大大减少外界其他振动信号对压电薄膜的干扰。 | ||
搜索关键词: | 压电薄膜 横梁支架 上盖 触点 下盖 微弱信号 悬臂梁式 传感器 悬空 压迫 信号处理电路 本实用新型 封闭外壳 固定支点 密封空间 悬空状态 振动信号 振动压力 上下盖 悬空端 粘合 横梁 紧贴 架设 表现 | ||
【主权项】:
一种悬臂梁式压电薄膜微弱信号传感器,包括外壳、横梁支架、压电薄膜和信号处理电路,其特征在于,所述外壳是由上盖和下盖组成的密封空间,所述横梁支架设于上盖和下盖之间,所述横梁支架一端通过一个固定支点与所述下盖固定连接,另一端为悬空状态,所述上盖上设有触点,触点与横梁支架的悬空端相接触,用于压迫横梁支架的悬空端,所述压电薄膜紧贴横梁支架。
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