[实用新型]一种低能扫描电子显微镜系统有效
| 申请号： | 201721565080.0 | 申请日： | 2017-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN207425790U | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 李帅;何伟 | 申请（专利权）人： | 聚束科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/145 | 分类号： | H01J37/145;H01J37/244;H01J37/26;H01J37/28;G01N23/203;G01N23/225 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 王军红;张颖玲 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种低能扫描电子显微镜系统，包括：电子源，用于产生电子束；电子加速结构，用于增加所述电子束的运动速度；复合物镜，用于对经所述电子加速结构加速的电子束进行汇聚；偏转装置，位于所述磁透镜的内壁与所述电子束的光轴之间，用于改变所述电子束的运动方向；探测装置，包括用于接收电子束作用于样品上产生的二次电子和背散射电子的第一子探测装置、用于接收所述背散射电子的第二子探测装置、以及用于改变所述二次电子和所述背散射电子的运动方向的控制装置；电透镜，包括第二子探测装置、样品台和控制电极，用于减小所述电子束的运动速度，并改变所述二次电子和所述背散射电子的运动方向。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 探测装置 背散射 二次电子 扫描电子显微镜系统 电子加速 透镜 本实用新型 电子束作用 复合物镜 控制电极 控制装置 偏转装置 磁透镜 电子源 样品台 光轴 减小 内壁 汇聚 | ||
【主权项】：
1.一种低能扫描电子显微镜系统，其特征在于，包括：用于产生电子束的电子源；用于增加所述电子束的运动速度的电子加速结构；由电透镜和磁透镜构成，用于对经所述电子加速结构加速的电子束进行汇聚的复合物镜；位于所述磁透镜的内壁与所述电子束的光轴之间，用于改变经所述电子加速结构加速的电子束的运动方向的偏转装置；包括用于接收电子束作用于样品上产生的二次电子和背散射电子的第一子探测装置、以及用于接收所述背散射电子的第二子探测装置的探测装置；用于改变所述二次电子和所述背散射电子的运动方向的控制装置；由第二子探测装置、样品台和控制电极构成，用于减小所述电子束的运动速度，并改变所述二次电子和所述背散射电子的运动方向的电透镜。
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