[实用新型]多晶硅铸锭炉漏硅防护结构有效
申请号: | 201721571691.6 | 申请日: | 2017-11-22 |
公开(公告)号: | CN207498517U | 公开(公告)日: | 2018-06-15 |
发明(设计)人: | 傅林坚;曹建伟;沈文杰;李林;叶欣;胡建荣;俞安洲;石明智;陈焕 | 申请(专利权)人: | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 周世骏 |
地址: | 312300 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及多晶硅铸锭炉设备,旨在提供一种多晶硅铸锭炉漏硅防护结构。该防护结构包括由阻燃固化毡制成的保护管,保护管包围在水冷铜管外部;在保护管上由内向外依次设置内层石棉、不锈钢支撑圈和外层石棉,并在外层石棉上以钼丝缠绕实现固定;在多晶炉下炉体内层的表面铺设炉体内壁石棉,所述防护结构的底部与炉体内壁石棉紧密接触。该结构用作水冷多晶硅铸锭炉水冷铜盘组件中的水冷铜管的防护装置,当生产过程中发生漏硅现象时,漏硅被防护结构可以隔离漏硅从而保护水冷铜管短时间内难以被熔穿;设置温度探头可以在发生漏硅时及时发出警报。通过提示工作人员采取相应措施,避免事故发生,保证设备和人员的安全。 1 | ||
搜索关键词: | 防护结构 石棉 多晶硅铸锭炉 水冷铜管 炉体内壁 不锈钢支撑圈 本实用新型 防护装置 生产过程 事故发生 水冷铜盘 温度探头 依次设置 由内向外 多晶炉 内层 水冷 下炉 阻燃 钼丝 固化 缠绕 警报 提示 隔离 铺设 体内 包围 外部 保证 安全 | ||
【主权项】:
1.一种多晶硅铸锭炉漏硅防护结构,用于包覆保护水冷多晶硅铸锭炉水冷铜盘组件中的两根水冷铜管,水冷铜管通过水路密封座固定装在多晶炉下炉体中部的通孔内;其特征在于,所述防护结构包括由阻燃固化毡制成的保护管,保护管包围在水冷铜管外部;在保护管上由内向外依次设置内层石棉、不锈钢支撑圈和外层石棉,并在外层石棉上以钼丝缠绕实现固定;在多晶炉下炉体内层的表面铺设炉体内壁石棉,所述防护结构的底部与炉体内壁石棉紧密接触。2.根据权利要求1所述的防护结构,其特征在于,所述水路密封座的端部露出在通孔外,保护管底部设凹陷的沉孔,水路密封座的端部装在沉孔内。3.根据权利要求1所述的防护结构,其特征在于,所述保护管是由两个带轴向凹槽的半圆柱体组成的环管状结构,两个半圆柱体之间的接口为矩形的齿型结构。4.根据权利要求1至3任意一项中所述的防护结构,其特征在于,所述保护管分别包围在两根水冷铜管外部;内层石棉、不锈钢支撑圈和外层石棉同时或分别包裹两个保护管,并在外层石棉上以钼丝缠绕实现固定。5.根据权利要求1至3任意一项中所述的防护结构,其特征在于,在防护结构底部与炉体内壁石棉之间设有底层石棉,且相互紧密接触。6.根据权利要求1至3任意一项中所述的防护结构,其特征在于,所述内层石棉的厚度≥20mm,不锈钢支撑圈的厚度≥5mm;所述炉体内壁石棉有四层,单层厚度≥10mm。7.根据权利要求1至3任意一项中所述的防护结构,其特征在于,所述内层石棉以钼丝缠绕实现固定。8.根据权利要求1至3任意一项中所述的防护结构,其特征在于,在炉体内壁石棉的表面或在外层石棉的表面设置温度探头,温度探头通过信号线依次连接控制器和声光报警设备。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江晶盛机电股份有限公司,未经浙江晶盛机电股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201721571691.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种定向凝固设备
- 下一篇:多晶硅铸锭炉防溢流监测系统