[实用新型]一种用于固定衬底的石英支架有效
| 申请号： | 201721576096.1 | 申请日： | 2017-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN207441651U | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 郭宗亮;李秋;魏爱香;肖志明 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 510006 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种包括石英垫片、平行设置的上支撑架和下支撑架，上支撑架和下支撑架间设有相对设置的第一支撑柱和第二支撑柱，石英垫片设于第一支撑柱和第二支撑柱间且能够沿其滑动以对衬底进行限位。应用本实用新型公开的石英支架，衬底被石英垫片间隔开，通过调整石英垫片的特定厚度和数量可以灵活调整衬底间距，且该装置开通的框架结构保证气流的均匀流动，通过石英垫片对衬底进行固定，避免衬底在移动过程中移位或掉落，且装卸方便，提高应用灵活性。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 石英垫片 支撑柱 本实用新型 上支撑架 石英支架 下支撑架 应用灵活性 均匀流动 框架结构 灵活调整 平行设置 相对设置 移动过程 装卸方便 滑动 掉落 移位 限位 开通 应用 保证 | ||
【主权项】：
1.一种用于固定衬底的石英支架，其特征在于，包括石英垫片、平行设置的上支撑架和下支撑架，所述上支撑架和所述下支撑架间设有相对设置的第一支撑柱和第二支撑柱，所述石英垫片设于所述第一支撑柱和所述第二支撑柱间且能够沿其滑动以对衬底进行限位。
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