[实用新型]一种基于振镜和成像透镜的快速光学扫描装置有效
| 申请号： | 201721576499.6 | 申请日： | 2017-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN207557580U | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 苏飞;李腾辉;苏邺昊 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10 |
| 代理公司： | 北京永创新实专利事务所 11121 | 代理人： | 周长琪 |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种基于振镜和成像透镜的快速光学扫描装置，包括光学振镜(含场镜)、成像凸透镜与光电探测器。其中，光学振镜具有两个绕垂直方向转轴转动的反光镜，可以将光学振镜的入射光沿两个垂直的方向偏转，形成平面内的扫描动作；光学振镜的下一个元件为成像凸透镜，用来回笼不同角度的扫描光线，使之落在同一个点上，该点处设置光电探测器。在进行透射式检测时，成像凸透镜与光学振镜分别位于待测试件的两侧；而在进行反射式检测时，成像凸透镜与光学振镜位于待测试件的同侧。本实用新型扫描速度极高，噪声小，避免了传统机械扫描中因试件的惯性造成的扫描速度慢和精度差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 光学振镜 凸透镜 成像 快速光学扫描 本实用新型 光电探测器 成像透镜 待测试件 扫描 振镜 反光镜 透射式检测 传统机械 方向偏转 扫描动作 扫描光线 转轴转动 垂直的 反射式 入射光 场镜 试件 同侧 噪声 检测 | ||
【主权项】：
1.一种基于振镜和成像透镜的快速光学扫描装置，其特征在于：包括光学振镜、成像凸透镜与光电探测器；其中，待测试件是光学振镜的下一元件；在进行透射式检测时，光学振镜与成像凸透镜分别位于待测试件的上方与下方；在进行反射式检测时，光学振镜与成像凸透镜位于待测试件同侧；上述成像透镜的成像点与光学振镜的出光点共轭，且成像点处放置光电探测器，且成像点位于光电探测器的靶面上；光电探测器通过数据线与数据处理计算机。
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