[实用新型]接触式光刻机的调平装置

摘要

本实用新型公开了一种接触式光刻机的调平装置，该装置包括作为工件自动调平时的基准面的掩模版、工作台、推力关节轴承、称重传感器、升降机构和控制器；所述推力关节轴承包括轴圈和座圈，所述掩模版置于工作台的上方，所述工作台的下端面安装在轴圈上，所述称重传感器安装在工作台内，且称重传感器的载荷感应点朝下且与轴圈上平面相接触；所述轴圈放置于座圈上，所述轴圈上表面的外沿直径大于座圈上表面的外沿直径，所述轴圈与座圈之间的腔体作为真空腔体，且通过通气孔接到外部的电磁阀并与真空发生器相接。本实用新型整个装置结构简单，结果可靠，重复精度高，避免了结构复杂，加工安装困难，操作复杂等问题。

主权项

1.一种接触式光刻机的调平装置，其特征在于，包括作为工件自动调平时的基准面的掩模版、工作台、推力关节轴承、称重传感器、升降机构和控制器；所述推力关节轴承包括轴圈和座圈，所述掩模版置于工作台的上方，所述工作台的下端面安装在轴圈上，所述称重传感器安装在工作台内，且称重传感器的载荷感应点朝下且与轴圈上平面相接触；所述轴圈放置于座圈上，所述轴圈上表面的外沿直径大于座圈上表面的外沿直径，所述轴圈与座圈之间的腔体作为真空腔体，且通过通气孔接到外部的电磁阀并与真空发生器相接；所述称重传感器与控制器的输入端连接，且所述控制器的输出端与升降机构相连接，所述升降机构与座圈驱动连接；升降机构位于座圈的下方，升降机构可以往上推动座圈向上运动使得工件台向上与掩模版相接触，又可以往下带动座圈及工件台离开掩模版而解除接触。