[实用新型]一种抛光液大颗粒在线监测装置有效
| 申请号： | 201721579816.X | 申请日： | 2017-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN207703678U | 公开（公告）日： | 2018-08-07 |
| 发明（设计）人： | 贺乾坤;陈士豪;吕冰海;楼飞燕;邓乾发;王志伟 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | G01N15/02 | 分类号： | G01N15/02;G01N15/14 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 王利强 |
| 地址： | 310014 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种抛光液大颗粒在线监测装置，包括光学系统、数据采集与处理系统、系统标定与检验和辅助系统，光学系统包括观察窗口、激光光源、激光发射光路、激光衰减接收光路和激光散射接收光路，实现对抛光液中大颗粒光衰减、光散射信号的光电转换，数据采集与处理系统包括激光衰减、激光散射信号的采集与处理的模拟与数字电路；标定及检验系统利用标准颗粒悬浮液对抛光液大颗粒检测系统进行标定，建立激光衰减、激光散射电信号与标准颗粒已知尺寸之间的关系；辅助系统包括抽样系统、清洗系统和气泡消除系统。本实用新型检测范围大，实时在线检测，对提升高表面完整性的抛光加工的良品率有重要作用，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 大颗粒 抛光液 激光散射 衰减 数据采集与处理系统 在线监测装置 激光 标准颗粒 辅助系统 光学系统 接收光路 标定 模拟与数字电路 激光发射光路 实时在线检测 本实用新型 光散射信号 抽样系统 观察窗口 光电转换 激光光源 检测系统 检验系统 抛光加工 气泡消除 清洗系统 系统标定 高表面 光衰减 良品率 悬浮液 采集 检测 检验 | ||
【主权项】：
1.一种抛光液大颗粒在线监测装置，其特征在于：包括光学系统、数据采集与处理系统、标定与检验系统和辅助系统；所述光学系统包括观察窗口、激光器、激光发射光路、激光衰减接收光路和激光散射接收光路，所述激光衰减接收光路和激光散射接收光路实现对抛光液中大颗粒光衰减和光散射信号的光电转换；所述数据采集与处理系统包括激光衰减、激光散射信号的采集与处理的模拟与数字电路；所述标定及检验系统利用标准颗粒悬浮液对抛光液大颗粒检测系统进行标定，建立激光衰减、激光散射电信号与标准颗粒已知尺寸之间的关系，确定两种检测方法的相互衔接；所述辅助系统包括抽样系统、清洗系统和气泡消除系统。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江工业大学，未经浙江工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201721579816.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种远程血球分析仪及其远程血球分析系统
- 下一篇：一种双通道空气质量检测装置
