[实用新型]一种信号发生器辅助射频电源调谐装置

摘要

本实用新型公开了一种信号发生器辅助射频电源调谐装置，包括：信号处理模块、内部时钟模块、功率放大模块、隔离变压器模块、四极杆总成、反馈控制模块；通过先用信号发生器进行大范围频率扫描，找到调谐频率，根据测出四极杆的电容值和LC谐振频率计算公式算出需要调节的电感，再选择合适的磁芯数量，通过改变特殊设计的电感元件中的磁芯，调整到计算出的电感值，从而达到要求频率，实现谱峰的调节，进而省去了大体积可调电容，提高了系统稳定性，又能适应大范围快速寻找调谐点的需求，本实用新型具有低成本，高效，高质量解决技术问题等优点。

主权项

一种信号发生器辅助射频电源调谐装置，其特征在于，包括：信号处理模块、内部时钟模块、功率放大模块、隔离变压器模块、四极杆总成、反馈控制模块;用于产生频率可变信号且输出传输信号到功率放大模块的所述信号处理模块与所述功率放大模块相连接，且包括信号发生器、信号发生频率控制器和功率放大模块幅值控制器；为所述功率放大模块提供固定频率信号且用于调节谐振频率的所述内部时钟模块与所述功率放大模块相连接；用于放大所述信号处理模块输出信号且为所述隔离变压器模块提供驱动电压的所述功率放大模块与所述信号处理模块、所述隔离变压器模块、所述内部时钟模块、所述反馈控制模块相连接；从所述功率放大模块获取到电压进行变压且用于驱动四极杆总成工作的所述隔离变压器模块与所述功率放大模块、四极杆总成相连接；用于筛选粒子的所述四极杆总成与所述隔离变压器模块、反馈控制模块相连接；用于实时检测所述隔离变压器模块输出到所述四极杆总成工作电压的所述反馈控制模块与所述功率放大模块、所述四极杆总成相连接。