[实用新型]一种法拉第杯结构及离子植入设备

摘要

本实用新型提供一种法拉第杯结构及离子植入设备，所述法拉第杯结构包括：法拉第杯；固定部，所述固定部为空心立方体结构；任意一组首尾相连的四个表面为四个第一表面，至少一个所述第一表面上固定有法拉第杯；另外两个表面为第二表面；固定于任意一个所述第二表面的转动杆，其中，所述转动杆具有直线运动和旋转运动的自由度；固定于所述固定部一侧的永久磁体。通过本实用新型提供的法拉第杯结构及离子植入设备，解决了现有法拉第杯使用周期短，更换频繁的问题。 1

主权项

1.一种法拉第杯结构，其特征在于，所述法拉第杯结构包括：

法拉第杯；

固定部，所述固定部为空心立方体结构，任意一组首尾相连的四个表面为四个第一表面，至少一个所述第一表面上固定有法拉第杯，另外两个表面为第二表面；

固定于任意一个所述第二表面的转动杆，其中，所述转动杆具有直线运动和旋转运动的自由度；

固定于所述固定部一侧的永久磁体。

2.根据权利要求1所述的法拉第杯结构，其特征在于，所述永久磁体通过支架固定于所述固定部的一侧。

3.根据权利要求1所述的法拉第杯结构，其特征在于，所述固定部包括长方体结构，所述长方体结构的四个第一表面上均固定有至少一个法拉第杯。

4.根据权利要求3所述的法拉第杯结构，其特征在于，所述长方体结构的四个第一表面上均固定有一个法拉第杯。

5.一种离子植入设备，其特征在于，所述离子植入设备包括如权利要求1至4任一项所述的法拉第杯结构。

6.根据权利要求5所述的离子植入设备，其特征在于，所述离子植入设备还包括设于所述法拉第杯底部、且与所述法拉第杯内壁连接的电流计。

7.根据权利要求5所述的离子植入设备，其特征在于，所述离子植入设备还包括设于所述法拉第杯结构前方的离子束产生装置，及设于所述法拉第杯结构后方的待植入结构。