[实用新型]一种小型真空磁控三靶溅射镀镆机

摘要

一种小型真空磁控三靶溅射镀镆机，涉及一种镀镆机，所述镀镆机包括有真空室、支撑真空室的机台、置于机台内部的电器控制系统及真空室的上盖、均布于上盖上的三个磁控靶，上盖上连接有两支气压支撑杆，真空室后面设有抽气管，抽气管中设有节流阀，抽气管的后端通过气动插板阀与分子泵相接，分子泵的排气口通过波纹管连接于机械泵；真空室上盖上面均布三只磁控靶，每只靶头上，均设有独立的挡板机构；真空室前面设有玻璃观察窗；真空室右面，设有辅助照明的引入接口。该镀膜机为一体式结构，外接水、电、气即可工作，用户只需设置好若干参数，例如镀镆时间、并放样、取样等，就可以全自动运行。 1

主权项

1.一种小型真空磁控三靶溅射镀镆机，其特征在于，所述镀镆机包括有真空室、支撑真空室的机台、置于机台内部的电器控制系统及真空室的上盖、均布于上盖上的三个磁控靶，上盖上连接有两支气压支撑杆，真空室后面设有抽气管，抽气管中设有节流阀，抽气管的后端通过气动插板阀与分子泵相接，分子泵的排气口通过波纹管连接于机械泵；真空室上盖上面均布三只磁控靶，每只靶头上，均设有独立的挡板机构；真空室前面设有玻璃观察窗；真空室右面，设有辅助照明的引入接口；真空室底部中心位置设有可以加热、旋转的样品台；真空室底部四周分部有真空规接入口、预抽气口、两路气体充入口；旋转加热样品台内部安装铠装加热盘，旋转加热样品台的四周设有一块环形防尘板，旋转加热样品台上镶嵌一个被动大齿轮、啮合一个主动小齿轮，磁流体密封轴上通过联轴器连接步进电机，支撑真空室的机台上设有触摸屏及一套电控系统，底部设有移动地脚。

2.根据权利要求1所述的一种小型真空磁控三靶溅射镀镆机，其特征在于，所述真空室后面抽气口上设有节流阀、气动插板阀并连接分子泵。

3.根据权利要求2所述的一种小型真空磁控三靶溅射镀镆机，其特征在于，所述分子泵的排气口通过截止阀和波纹管接入机械泵。

4.根据权利要求1所述的一种小型真空磁控三靶溅射镀镆机，其特征在于，所述主动小齿轮镶嵌在磁流体密封轴上。