[实用新型]一种可实现自动翻转的基片架

摘要

本专利公开了一种可实现自动翻转的基片架，用于在基片上形成溅射层环境下，包括：翻转机构、旋转机构和棘轮机构；所述棘轮机构与夹持所述夹爪相连接，用于传递翻转的动力，从而驱动所述夹爪带动基片翻转。所述旋转机构与设置多个夹爪的圆盘啮合，从而驱动所述转盘旋转带动所述转盘上的夹爪转动。所述翻转机构与所述转盘上的棘轮机构配合，并带动所述棘轮机构翻转所述夹爪。通过设置棘轮和棘爪的配合，同时利用了杠杆的升降和转盘转动的力同时驱动基片卡具的翻转，在保证了翻转稳定可靠的工作的情况下，节约了有限的利用空间。

主权项

1.一种可实现自动翻转的基片架，用于溅射镀膜设备和真空蒸发镀膜设备环境下，其特征在于，包括：翻转机构、旋转机构和棘轮机构；所述棘轮机构夹持所述基片，并传递旋转和翻转所述基片的旋转力和翻转力；包括工件、工件卡具、棘轮，卡具支座；所述工件用于半导体元器件基片；工件卡具整体呈现三方封闭一方开口的形状，所述卡具穿过底壁中心与侧壁平行的轴线倾斜设置，从水平面方向向上延伸；所述工件卡具的底壁外侧，垂直于所述底壁的方向设置有一轴，所述轴穿过卡具支座上的孔轴后，安装上棘轮；所述卡具支座固定设置在所述旋转机构上；旋转机构，所述旋转机构包括转盘、电机和驱动机构，所述转盘上承载多个所述棘轮机构，所述电机通过驱动机构与所述转盘相连，驱动所述转盘沿着其中心转动；翻转机构，包括棘爪、轴、拉杆、杠杆、气缸；杠杆与杠杆座连接，杠杆可以以杠杆与杠杆座的连接点为中心旋转；杠杆的一端A与气缸固定，杠杆的另一端B与拉杆固定；拉杆与轴以及与棘爪连接；当气缸收缩时，气缸拉动杠杆以杠杆座为中心转动，杠杆推动拉杆上升，进而实现棘爪的上升；当气缸伸长时，气缸推动杠杆以杠杆座为中心逆时针转动，杠杆拉动拉杆下降，进而实现棘爪的下降；当所述棘爪上升且棘轮机构旋转至棘爪上方时，所述翻转机构上的棘爪与所述棘轮机构上的棘轮接触，同时，由于棘轮本身是随着圆盘旋转的，而棘爪并不随圆盘转动，因此棘轮机构上面的棘轮就会被棘爪拨动；所述棘轮在圆周方向具有四个均匀分布的凹陷，所述棘爪为直线型设置有与所述凹陷配合的棘爪凸起，每一个凸起与棘轮上的凹陷配合拨动棘轮，一个凸起拨动一次棘轮旋转90度，两个凸起两次拨动后，棘轮旋转180度，完成工件翻转。