[实用新型]用于抛光硅晶片的砂轮

摘要

本实用新型提供的一种用于抛光硅晶片的砂轮，设置有固定架所述的固定架一端连接一个链接件，所述的连接件通过刻度杆和支撑杆与千分表连接。所述的千分表通过刻度杆和支撑杆的直线位移(直线运动)转换成指针的旋转运动，操作人员能够清楚的读出砂轮的位移量进而精准的控制砂轮刀片对硅晶片的抛光厚度以提升抛光精度，提升硅晶片的加工质量。在本实用新型中采用连接件分别与固定架和千分表连接，结构简单拆装方便，使得工人便于随身携带，对加工过程中的砂轮位移做实时的调整。同时为了保证连接的稳定性在固定架上的固定槽内设置球形弹簧能够与连接件的球形凹槽相互配适使得连接更加稳定。

主权项

1.一种用于抛光硅晶片的砂轮，其特征在于，其包括砂轮本体(1)，固定架(2)以及旋转轴(3)，所述的固定架(2)上设置有固定槽(21)，其能够配适安装有连接件(4)，所述的连接件(4)内插接有刻度杆(51)，所述的刻度杆(51)的一端与支撑杆(52)的一端通过螺钉连接，且所述的支撑杆(52)的另一端通过螺钉与千分表(6)连接。