[实用新型]基于微机电探针的垂直式探针卡有效
| 申请号： | 201721625819.2 | 申请日： | 2017-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN207457425U | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 刘明星 | 申请（专利权）人： | 强一半导体（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/067 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 张欢勇 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于微机电探针的垂直式探针卡，包括探针头和设置在所述探针头顶部的补强板，所述探针头包括上导板和下导板，所述上导板和下导板之间设有空间调节器，所述空间调节器均匀地分布在所述上导板和下导板两侧，所述下导板的中心开设有通槽，所述通槽内设有微机电探针，且所述微机电探针穿过所述通槽，所述微机电探针自上而下插入上下导板形成探针头，所述探针头与所述补强板之间设有探针头安装基座，所述探针头安装基座连接封装基板，所述封装基板连接PCB板，所述PCB板连接所述补强板，能够测试超小管脚间距芯片，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 探针头 微机电探针 下导板 补强板 上导板 通槽 垂直式探针卡 安装基座 封装基板 本实用新型 空间调节器 调节器 所述空间 头顶部 导板 探针 小管 芯片 测试 穿过 | ||
【主权项】：
一种基于微机电探针的垂直式探针卡，其特征在于：包括探针头(1)和设置在所述探针头(1)顶部的补强板(2)，所述探针头(1)包括上导板(3)和下导板(4)，所述上导板(3)和下导板(4)之间设有空间调节器(5)，所述空间调节器(5)均匀地分布在所述上导板(3)和下导板(4)两侧，所述下导板(4)的中心开设有通槽，所述通槽内设有微机电探针(6)，所述微机电探针(6)自上而下插入上下导板(4)形成探针头(1)，所述探针头(1)与所述补强板(2)之间设有探针头(1)安装基座(7)，所述探针头(1)安装基座(7)连接封装基板(8)，所述封装基板(8)连接PCB板(9)，所述PCB板(9)连接所述补强板(2)。
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