[实用新型]多晶硅铸锭炉防溢流监测系统有效
申请号: | 201721626578.3 | 申请日: | 2017-11-29 |
公开(公告)号: | CN207498518U | 公开(公告)日: | 2018-06-15 |
发明(设计)人: | 翟文亚;王广洲;屈道宽;王涛;吴琼华;李杨;朱宁坦;闫树兵;蔡怀举;田飞 | 申请(专利权)人: | 山东理工昊明新能源有限公司;山东理工职业学院 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06;F27D21/04 |
代理公司: | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人: | 卢登涛 |
地址: | 272001 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开一种多晶硅铸锭炉防溢流监测系统,属于监测装置技术领域,包括炉体,炉体的内部设有隔热笼,隔热笼的内部设有石英坩埚和加热器,石英坩埚的内部设有硅熔体,石英坩埚的下方设有热交换台和支柱,加热器上联接有加热器提升杆,炉体的底部铺设有隔热层,隔热层的上方铺设有热敏电缆,热敏电缆通过卡件与隔热层卡接,热敏电缆的外部通过补偿导线连接有变送器,变送器通过通讯线连接有信号处理设备,信号处理设备的外部连接有显示报警终端,把热电阻金属丝替换成热敏电缆,把热敏电缆产生的实时信号组态到监控系统中,并通过监控系统中温度曲线监控多晶硅铸锭炉内的温度,解决了现有技术中出现的问题。 1 | ||
搜索关键词: | 热敏电缆 多晶硅铸锭炉 加热器 石英坩埚 隔热层 炉体 信号处理设备 监测系统 监控系统 变送器 防溢流 隔热笼 铺设 本实用新型 热电阻金属 补偿导线 监测装置 热交换台 实时信号 外部连接 温度曲线 显示报警 硅熔体 提升杆 通讯线 卡件 卡接 组态 联接 替换 终端 监控 外部 | ||
【主权项】:
1.一种多晶硅铸锭炉防溢流监测系统,包括炉体(2),炉体(2)的内部设有隔热笼(3),隔热笼(3)的内部设有石英坩埚(8)和加热器(5),石英坩埚(8)的内部设有硅熔体(9),石英坩埚(8)的下方设有热交换台(10)和支柱(11),加热器(5)上联接有加热器提升杆(4),其特征在于:所述的炉体(2)的底部铺设有隔热层,隔热层的上方铺设有热敏电缆(12),热敏电缆(12)通过卡件与隔热层卡接,热敏电缆(12)的外部通过补偿导线(14)连接有变送器,变送器通过通讯线连接有信号处理设备,信号处理设备的外部连接有显示报警终端。2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉防溢流监测系统,其特征在于:所述的热敏电缆(12)在炉体(2)底部铺设的形状为四角为圆弧形的正方形,长度大于石英坩埚(8)的周长,铺设的圈数为三圈。3.根据权利要求1或2所述的多晶硅铸锭炉防溢流监测系统,其特征在于:所述的热敏电缆(12)包括金属保护管(15)和设于金属保护管(15)内的两个热电极(17),两个热电极(17)分别与金属保护管(15)的轴心线平行,且两个热电极(17)之间、各热电极(17)与金属保护管(15)内壁之间均不接触,两个热电极(17)之间、各热电极(17)与金属保护管(15)内壁之间的间隙空间填充有温敏介质材料(16)。4.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉防溢流监测系统,其特征在于:所述的炉体(2)的外部设有铸锭炉电气接线盒,热敏电缆(12)的对接头固定在铸锭炉电气接线盒内,对接头为防水接头(13)。5.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉防溢流监测系统,其特征在于:所述的石英坩埚(8)的上方设有与其连通的石墨套管(1),石英坩埚(8)的上方设有盖板(6),石英坩埚(8)的侧面设有石墨护板(7)。6.根据权利要求3所述的多晶硅铸锭炉防溢流监测系统,其特征在于:所述的热敏电缆(12)为热偶型热敏电缆。
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